Materialien für den Reinraum in der Halbleiterbranche
Gerade in der Halbleiterindustrie ist man auf eine reine Produktionsumgebung angewiesen. Dies betrifft nicht nur die partikuläre sondern auch...
3 Min. Lesezeit
Joachim Ludwig 15.5.2018
Die Konzeption und Planung eines Reinraums hängt natürlich in erster Linie von den an ihn gestellten Anforderungen ab. In manchen Fällen genügt bereits ein Sauberraum, besonders aber in der Technologiebranche, der Forschung und im pharmazeutischen Bereich sowie in der Lebensmittelindustrie gelten strenge Richtlinien.
Nichtsdestotrotz sollte der Entscheidung über die Art und Klassifikation eines Reinraums die Überlegung vorangehen, ob ein Reinraum auch die Lösung an sich für den zu betrachtenden Prozess ist. Jede reinheitstechnische Lösung hat Vor- und Nachteile, diese gilt es zu evaluieren und dann die Entscheidung zu treffen, ob ein Reinraum oder eine andere reinheitstechnische Lösung, z.B. eine Arbeitsplatzlösung oder Minienvironments, den Anforderungen besser gerecht werden. Sollte als Ergebnis dieser Überlegungen trotz hoher Investitions- und laufender Kosten ein Reinraum als die Lösung angesehen werden, dann sollte die für die Prozesse geeignete Reinraum- bzw. Reinraumkabinenlösung in Betracht gezogen werden.
Im technischen Bereich ist der Maßstab die Partikelkonzentration im Reinraum. Die Klassifizierung der Partikelkonzentration in der Luft wird in der DIN ISO 14644-1 beschrieben, die Klassen reichen von ISO 1 bis ISO 9, wobei ISO 1 die beste Klasse mit den wenigsten Partikeln ist. In Life-Science-Anwendungen sind zusätzlich mikrobiologische Anforderungen zu betrachten.
Mehr über die Zusammenhänge und Unterschiede der Richtlinien erfahren Sie hier.
Die Ansprüche, die an einen Reinraum gestellt werden sind also höchst unterschiedlich. Es ist daher zwingend notwendig, dass in der Praxis die verschiedensten Modelle und Konzepte zur Anwendung kommen. Eine detaillierte Abgrenzung zwischen Reinraum und Reinraumkabine gibt es nicht und muss auch nicht zwingend erforderlich sein. Letztendlich ist es einzig und allein die Bezeichnung, die sich oftmals an der Größe der jeweiligen Lösung spiegelt. Reinräume sind oft fest eingebaute Systeme, können aber auch so modular aufgebaut sein, dass keine feste Verbindung zum umgebenden Gebäude besteht.
Grundsätzlich lassen sich zwei bewährte Systeme unterscheiden:
In der Praxis spricht man bei beiden Varianten von Reinräumen bzw. Reinraumkabinen. Je nach Anwendung können diese nur wenige Quadratmeter aufweisen, aber auch ganze Hallen füllen. Zweckdienlich sind in den meisten Fällen Raum-in-Raum-Lösungen.
Welcher Lösungsansatz für Ihre Anwendung sinnvoll ist, ist zunächst nicht nur eine Preisfrage. In vielen Fällen sind die Unterschiede zwischen einer Hardwall- und einer Softwalllösung nur marginal.
Behalten Sie daher vor allem die Anforderungen Ihres Anwendungsfalls im Blick. Generell lassen sich zwar beinahe alle Verwendungszwecke mit beiden Lösungsansätzen umsetzen, in der Praxis zeigen sich allerdings schnell die Stärken und Schwächen der verwendeten Lösung.
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Besonders, wenn es darum geht, Platz zu sparen, bieten sich oft Softwalllösungen an. Das Arbeiten im zeltähnlichen Reinraum wird dabei nicht von starren Wänden erschwert. In vielen Fällen lassen sich durch Folienlösungen auch schnellere Zugangsmöglichkeiten schaffen.
Je höher jedoch die Luftzufuhr im Inneren des Reinraums ist, desto größer ist die Gefahr, dass sich die Folien stark nach außen wölben, beziehungsweise abstehen. In der Praxis haben sich halbhohe Folien bewährt, die einen konstanten Luftdurchsatz gewährleisten.
Grundvoraussetzung für die Effizienz der Softwalllösung ist die regelmäßige Reinigung der Folien. Hierin liegt auch eine gewisse Herausforderung an das Personal, da Folien in der Regel anspruchsvoller in der Reinigung sind als feste Wände, da diese dem Wischtuch auf Grund der Flexibilität ausweichen.
Folien neigen auch dazu auszugasen. Wägen Sie daher also ab, ob für Ihren speziellen Anwendungsfall nicht doch auch eine Hardwalllösung in Frage käme.
Bei der Rahmenkonstruktion können hier Aluminiumprofilsysteme verwendet werden oder auch Paneelsysteme.
Für die Wandelemente stehen die verschiedensten Materialien zur Verfügung, von Kunststoffen bis zu Aluminiumplatten. Jedes Material hat hier seine Vor- und Nachteile, die man in die Planung mit einbeziehen sollte:
PVC-Flächen: Pflegeleicht, aber nicht unbedingt kratzfest. Die preiswerteste Lösung. Bei einzelnen Anwendungen werden Fragen zum Brandschutz bzgl. der Rauchbildung im Brandfall gestellt.
Polycarbonat: Mitunter sehr weich, meist etwas haltbarer als PMMA. Nicht immer kratzfest. Auch durchsichtig verfügbar.
PMMA: Für durchsichtige Flächen.
Stahlbleche: Hohe Stabilität, Korrosionsgefahr ohne Lackierung. Am besten pulverlackiert.
Edelstahl: Sehr stabil. Die Oberfläche sollte glatt sein (gebürstet oder poliert).
Aluminiumbleche: Leicht und stabil. Die Oberfläche sollte eloxiert und/oder pulverlackiert sein.
Glas: Generell die günstigste Lösung. In der Praxis kommen Einscheibensicherheitsglas und Verbundsicherheitsglas zur Anwendung und gewährleisten einen hohen Splitterschutz.
Die Planung unterliegt vielen verschiedenen Faktoren, der meist modulare Aufbau ist dabei nur eine der Herausforderungen.
Welche Wandlösung für Ihren Reinraum bzw. Ihre Reinraumkabine sinnvoll ist, hängt vor allem vom Grad der Luftreinheit ab, den Sie anstreben. Je höher die Anforderungen, desto eher empfiehlt sich eine Hardwalllösung.
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