Cleanroom Das Reinraum Wiki: Begriffe und Definitionen

Willkommen auf dem Reinraum Wiki, dem Wiki für Begriffe rund um die Reinraumtechnik.

Dieser Service der COLANDIS GmbH wurde ins Leben gerufen, um Unternehmen aus der Industrie und Technologiebranche eine zentrale Anlaufstelle für den technischen Bereich in der Reinraumtechnik bereitzustellen.

Wir werden regelmäßig neue Begriffe rund um die Themen Reinraum, Sauberraum, Reinheitstauglichkeit und Reinraumtauglichkeit erklären. Viel Spaß beim Stöbern, Nachschlagen und Informieren.

Abgrenzungsdeskriptor [A_a:B_b]

"numerische Abkürzung, die die Differenz der Reinheitsklassifizierung zwischen zwei Bereichen beschreibt, wie sie unter definierten Prüfbedingungen durch ein SD-Modul sichergestellt wird. Dabei ist

A die ISO-Klasse im Modul;

a die Partikelgröße, bei der A gemessen wird;

B die ISO-Klasse außerhalb des Moduls;

b die Partikelgröße, bei der B gemessen wird."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Abklingmessung

Vorgehen, bei dem die Wirksamkeit und Eignung der Extraktionsparameter überprüft wird, indem die Extraktion in identischer Weise merhmals am gleichen Prüfobjekt wiederholt wird [in Anlehung an ISO 16232] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Ableitfähigkeit von Oberflächen

Oberflächenwiderstand

Elektrischer Widerstand, gemessen zwischen zwei Elektroden an einer Oberfläche (hier z.B. Bodenbelag; EN 1081)

Erdableitwiderstand

Elektrischer Widerstand zwischen einer Elektrode an einem beliebigen Oberflächenpunkt des Betriebsmittels und dem Betriebsmittel-Erdungspunkt, welcher auf dem Potenzial 0 V (Masse) liegt.

Antistatische Eigenschaften

Fähigkeit, elektrostatische Aufladung auf Arbeitsflächen oder Produktoberflächen durch Leitung oder andere Mechanismen auf einen festgelegten Wert oder auf den Nennwert abzubauen.

Elektrisches Oberflächenpotenzial

“Inseln” mit positiver oder negativer Ladung auf Arbeitsflächen oder Produktoberflächen führen zu einem Potenzialwert zwischen diesen Ladungen. Das elektrische Oberflächenpotenzial entspricht einem Spannungswert, welcher durch geeignete Messgeräte (z.B. Tera-Ohm-Meter oder Feldstärkenmessgeräte) angezeigt werden kann.

(Quelle: VDI 2083 Blatt 9.1, Dezember 2006)

Abnahmemessungen

Abnahmemessungen für Reinräume dienen dem Nachweis der Übereinstimmung mit den festgelegten Anforderungen der reinheitstechnischen Parameter. Sie erfolgen nach vorgeschriebenen Standards entsprechend DIN EN ISO14644-1, DIN EN ISO 14644-4 und VDI 2083-3. Die Abnahmemessungen umfassen dabei mindestens

Luftvolumenstrom- / Luftgeschwindigkeitsprüfung
Bestimmung der Luftwechselzahl
Differenzdruckprüfung
Dichtheitsprüfung für Filter
Zählung luftgetragener Partikel inkl. statistische Auswertung und Klassifizierung des Reinraumes

Weitergehende Messungen umfassen Klimaparameter, Schallpegel und Beleuchtungsstärke u. a..

Wie solch eine Messung durchgeführt wird, erfahren Sie hier.

Abscheidegrad (Trenngrad, separation efficiency)

Im Allgemeinen wird mit dem Abscheidegrad die Wirksamkeit von Trennverfahren bewertet. In der Reinraum-Filtertechnik beschreibt der Abscheidegrad eines Filters das Verhältnis von abgeschiedenen Partikeln zu eingetretenen Partikeln pro Volumeneinheit und wird in Prozent angegeben.

Abscheidegrad (in %) = 100 x (C_E-C_A) / C_E

C_E= Partikelkonzentration bei Lufteintritt C_A= Partikelkonzentration bei Luftaustritt

Der Abscheidegrad ist von der Partikelgröße abhängig. Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Filterklassifizierung anhand des Abscheidegrades gegenüber dieser Partikelgrößen.

ε ist das Verhältnis der im Filter zurückgehaltenen zur ankommenden Staubmenge:

Beispiel: ε=99,9 % 0,999

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Verhältnis der vom Filter zurückgehaltenen Partikel zu den auf das Filter aufgegebenen Partikeln

Integrierter Abscheidegrad: Abscheidegrad, gemittelt über die gesamte Durchströmfläche eines Filterelementes bei festgelegten Betriebsbedingungen des Filters.
lokaler Abscheidegrad: Abscheidegrad an einer bestimmten Stelle des Filterelementes bei festgelegten Betriebsbedingungen des Filters.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Maß für die Wirksamkeit des Filters, den zugeführten synthetischen Staub gemäß ASHRAE-Standard 52-76 aus der Testluft abzuschneiden.

Der Anscheidegrad wird aus dem prozentuellen Masseverhältnis durch Wägung ermittelt.

Anmerkung: ASHRAE = amerikanische Gesellschaft für Heizungs-, Kälte- und KLima-Ingenieure

(Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Abscheidegradminimum

Minimum der Fraktionsabscheidegradkurve bei fesgelegten Betriebsbedingungen des Filters (siehe 3.1.24).

Absorption

Übertragung von Infrarotenergie auf die Moleküle, die im Signalweg der Strahlung vorhanden sind. (Original EN: Transfer of infrared energy to the molecules present within the pathway of the radiation.) (Quelle: ECSS-Q-ST-70-05C,2009)

Abstrichtupfer

"sterile Sammelvorrichtung, bestehend aus einer speziellen Matrix von geeigneter Größe auf einer Vorrichtung, die auf die abgenommenen Mikroorganismen der Probe weder toxisch noch wachstumshemmend wirkt."

(Quelle: EN ISO 1464-6:2007)

ACC - Luftreinheit anhand der chemischen Konzentration

eng.: air clenliness by chemical concentration- Luftreinheit anhand der chemischen Konzentration

Grad, angegeben als ISO-Stufe N, die den Höchstwert der zulässgen Konzentration einer bestimmten chemischen Zustandsform oder Gruppe von chemischen Zustandsformen darstellt, angegeben in Gramm je Kubikmeter Luft (g/m³)

Anmerkung 1 zum Begriff: Diese Definition berücksichtigt keine Makromoleküle biologischen Ursprungs, die als Partikel bewertet werden.

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

ACC-Filter

ACC (Airborne Chemical Contamination)-Filter dienen der Abscheidung chemischer Kontaminationen. Sie können Aktivkohle- oder chemisch aktive Filter sein. Je nach Filterart gibt die Abscheidemechanismen Diffusion, Physikalische Adsorption, Chemiesorption und Ionenaustauscher.

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

Acceptance (Abnahme)

Qualitative und quantitative Überprüfung der spezifizierten Parameter und/ oder Abnahmekriterien eines Minienvironments (ME) am geplanten Einsatzort vor Produktivnahme (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Adaptiertes Mini-Environment

Mini-Environment, das mit dem Prozesstool nicht fest verbunden und damit demontierbar ist und Komponenten zur Versorgung mit konditionierter Luft enthalten kann, jedoch nicht zwingend enthält (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Mehr zum Thema Minienvironment finden Sie hier.

Additive Fahrweise # veraltet aus dem Jahr 1984

Durch im Umluftbetrieb arbeitende zusätzliche (additive) LF-Geräte wird in einem reinen Bereich durch Erzeugung turbulenzarmer Verdrängungsströmung der Reinheitsgrad der Luft örtlich gegenüber der turbulent durchströmten Umgebung gesenkt.

Aerosolgenerator

"Gerät, das in der Lage ist, durch thermische, hydraulische, pneumatische, akustische oder elektrostatische Verfahren Partikel zu generieren, deren Größe in einem geeigneten Bereich liegt (d.h. 0,05 µm bis 2 µm) und deren Konzentration konstant ist."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Aktionsgrenze

“<allgemein> Vom Benutzer im Zusammenhang mit kontrollierten Umgebungen festgelegter Grenzwert, bei dessen Überschreitung unverzügliches Eingreifen, einschließlich Ursachenuntersuchung und Korrekturmaßnahmen, erforderlich ist. [DIN EN ISO 14644-7]

<mikrobiologisch> vom Benutzer im Zusamnenhang mit kontrollierten Umgebungen festgelegter mikrobiologischer Grenzwert, bei dessen Überschreitung unverzügliches Eingreifen, einschließlich Ursachenuntersuchung und Korrekturmaßnahmen erforderlich ist."
(Quellen: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012

und

EN ISO 14644-6:2007)

Aktives Mini-Environment

Mini-Environment, das durch aktive Belüftung über Schwebstoff- und/oder AMC-Filter [veralteter Begriff – siehe ACC] oder Schutzgasdurchströmung speziell konditionierte Prozessbedingungen schafft (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Wie solch ein Mini-Environment gestaltet sein kann, erfahren Sie hier.

Aktivität

Wirksame Konzentration von Atomen, Ionen und Molekülen. Es ist das Konzentrationsmaß, das in die für ideale Mischungen und Lösungen abgeleiteten Gesetzte (z.B. das Massenwirkungsgesetzt) einzusetzen ist, damit sich diese auch dann anwenden lassen, wenn in dem betreffenden System kein ideales Verhalten mehr vorliegt. Es wird durch den Aktivitätskoeffizienten ausgedrückt. (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Alarmgrenze

“<allgemein>Vom Benutzer im Zusammenhang mit kontrollierten Umgebungen festgelegter Grenzwert, der frühzeitig vor dem Abweichen von den normalen Bedingungen warnt, und bei dessen Überschreitung dem Prozess verstärkte Aufmerksamkeit gewidmet werden sollte. [DIN EN ISO 14644-7]”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012

und

EN ISO 14644-6:2007)

"<mikrobiologisch> vom Benutzer für kontrollierte Umgebungen festgelegter mikrobiologischer Grenzwert, der frühzeitig vor dem möglichen Abweichen von den normalen Bedingungen warnt."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Analysegerät für die Differentialbeweglichkeit DMA (en: Differential Mobility Analyszer)

"Gerät zur Messung der Partikelgrößenverteilung auf der Grundlage der elektrischen Beweglichkeit von Partikeln."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Anlage

Reinraum oder Reiner Bereich mit allen zugehörigen Einrichtungen, Luftaufbereitungssystemen, Anschlüssen und Betriebsmitteln. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

APC

Abkürzung für automatic pallet carrier; ein automatischer Palettentransporter zur Versorgung von Fertigungssystemen mit Werkstücken, Werkzeugen und Hilfstoffen. (Quelle: Begrisslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

APOS

Abkürzung für advanced parts orientating system: ein in Japan entwickeltes System zum Ordnen von Teilen. Es nutzt Vibrationsantriebe und füllt Formnester mit Werkstücken. Dabei werden viele Werkstücke über die Formnester geführt. Nach Ablauf der Überschüttungsdauer werden nicht magazinierte Werkstücke mit Druckluft in einen Sammelbehälter geblasen und wieder in den Bunker zurückgeführt. Das befüllte Magazin wird ausgeschleust und gegen ein neues Leermagazin getauscht.(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

AMC (Airborne Molecualr Contamination - luftgetragene molekulare Kontamination) - veraltet - siehe ACC

In der Atmosphäre eines Reinraumes oder einer kontrollierten Umgebung vorhandene molekulare (chemisch nicht partikular) Gase oder Dämpfe, die sich schädlich auf den Menschen, das Produkt, den Prozess, die Umwelt oder das Equipment auswirken können (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

AMC-Filter - veraltet - siehe ACC-Filter

AMC (Airborne Moleculare Contamination)-Filter dienen der Abscheidung chemischer Kontaminationen. Sie können Aktivkohle- oder chemisch aktive Filter sein. Je nach Filterart gibt die Abscheidemechanismen Diffusion, Physikalische Adsorption, Chemiesorption und Ionenaustauscher.

Aminofilter

Aminofilter sind chemische Filter, die Aminoverbindungen aus der Luft filtern und chemisch binden. Der Einsatz von Aktivkohle ohne chemische Imprägnierung ist nicht zielführend, da Aminoverbindungen von der unbehandelten Aktivkohle nicht zurückgehalten werden können.

Analysenmethode zur Bestimmung der Partikelfraktion und -größenverteilung

Partikelzählverfahren, das sowohl die Ermittlung der Partikelanzahl als auch eine Größenklassifizerung der Partikel ermöglicht (z.B. durch Einsatz eines optischen Partikelzählers) [EN 1822-5:2000]

(Quelle: Europäische Norm EN 1822-4: August 2000; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 4: Leckprüfung des Filterelementes (Scan-Verfahren); Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Anfangsdruckdifferenz

Die Anfangsdruckdifferenz ist die Druckdifferenz des sauberen Prüflings im Betrieb bei Nennvolumenstrom. Sie wird in Pa angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

jene Druckdifferenz, die sich am neuen, unbestaubten Filter, das mit dem Betriebsvolumenstrom beaufschlagt wird, einstellt. (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Anfangsdruckdifferenz bei Nennvolumenstrom

jene Druckdifferenz, die sich am neuen, unbestaubten Filter, das mit dem Nennvolumenstrom beaufschlagt wird, einstellt (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Anisokinetische Probenahme

"Probenahmebedingungen, unter denen die mittlere Geschwindigkeit der Luft beim Eintritt in die Sonde signifikant von der mittleren Geschwindigkeit der turbulenzarmen Verdrängungsströmung an diesem Ort abweicht."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Anströmfläche

Die Anströmfläche ist die innere Querschnittsfläche des Prüfkanals direkt vor dem Prüfling. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Querschnittsfläche eines Filterelementes einsschließlich Rahmen.

Antistatische Eigenschaften

"Fähigkeit, elektrostatische Aufladung auf Arbeitsflächen oder Produktoberflächen durch Leitung oder andere Mechanismen auf einen festgelegten Wert oder auf den Nennwert Null abzubauen."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Antistatisches Material

Material, das es der elektrostatischen Ladung ermöglicht, über seine Oberfläche und/ oder durch sein Volumen innerhalb einer Zeit abzufließen, die kurz ist im Vergleich zu der Zeit der Ladungserzeugung oder der Zeit, innerhalb derer diese Ladung ein elektrostatisches Problem herbeiführen kann. (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Anzahlkonzentration

Partikelanzahl pro Volumenelement Trägergas (Luft).

Anwender

Die für den Betrieb einer Anlage verantwortliche Organisation. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Arbeitsplatz

Arbeitsplätze im Sinne der LärmVibrationsArbSchV sind alle Orte (ortsfest oder mobil bzw. ortbeweglich), an denen sich Beschäftigte bei der Arbeit aufhalten. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

Mehr zum Thema Reinluftarbeitsplätze finden Sie hier.

Arbeitszone (AZ)

Aufstellbereich der Elektronikmaschinen (EM)-Funktionseinheiten für die Ein- und Ausgabe Si-Scheiben bzw. Schablonen, Umladen, Transport, Kontrolle (offene Handling der Scheiben/ Schablonen) (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Aufsalzung

Die Erhöhung der Salzkonzentration im ablaufenden Wasser gegenüber dem Rohwasser als Ergebnis des Überschusses an Regenerationsmitteln, der notwendigerweise bei der Regeneration von Ionentauschern und der Neutralisation der Regenerate eingesetzt werden muss. (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Aufschlagabscheider

"Gerät zum Aufspüren von lebensfähigen Partikeln in der Luft oder in anderen Gasen durch Kollision dieser Partikel mit einer Flüssigkeitsoberfläche und Eindringen in die Flüssigkeit."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Ausführung

Montage und Einrichtung eines Reinraumes oder Reinen Bereiches (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Ausgasen, Ausgasung

Freisetzung molekularer Substanz(en) im gas- oder dampfförmigen Zustand aus einem Material.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

chemische Verbindung in gasförmigen Zustand, die von einem Material unter üblichen festgelegten Reinraumbedingungen (Temperatur, relative Feuchte und Druck) freigesetzt werden.

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Ausrüstung

Alle Gegenstände, die in einen Reinen Bereich eingebracht werden können. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Barriereklassen

Die Barriereklassen orientieren sich an der von der reinen Umgebung zu leistenden Schutzwirkung, je nach Anwendung

personenbezogen,
produktbezogen,
umweltbezogen oder
Kombinationen aus den vorgenannten.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 16.1, Düsseldorf 2010)

Basekapazität (KB)

Stoffmenge an Hydroxid-Ionen (HO), die ein bestimmtes Volumen Wasser aufnehmen kann, dies diese einen bestimmten pH-Wert erreicht hat. Es werden die gleichen pH-Endwerte wie bei der Säurekapazität festgestellt.(Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Bereitstellung

Zustand der vollständigangeschlossenen und in Funktion befindlichen Anlage, jedoch ohne Produktionseinrichtungen, ohne Ausrüstung und ohne Personal. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Betriebsmittel

Einrichtung oder Gegenstände, die in eine Reinraumumgebung eingebracht werden:

-Produktionseinrichtungen (z.B. Bonder, Montageeinrichtungen, Abfüllanlagen)

-Mess- und Prüfeinrichtungen (z.B. Inspektionseinrichtungen, Mikroskope)

-Transport- und Handhabungseinrichtungen (z.B. Linearachsen, Förderbänder, Roboter)

-Lagereinrichtungen (z.B. Boxen, Puffer)

-Organisationsmittel (z.B. Werkstückträger)

-Innenausstattung (z.B. Tische, Stühle)

-Inneneinrichtungen (z.B. Wände, Türen, Decken, Böden)

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Betriebszustand

Zustand für Reinräume (Bereitstellung, Leerlauf, Fertigung) gemäß DIN EN ISO 14644-1; 4.1

Anmerkung: Die Betriebszustände für Betriebsmittel sind zu vereinbaren.

(Quelle:VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Betriebszustand Bereitstsellung

“Zustand des vollständig angeschlossenen und in Funktion befindlichen Reinraums oder reinen Bereichs, jedoch ohne Produktionseinrichtungen, ohne Ausrüstungen und ohne Personal” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Betriebszustand Fertigung Betrieb

“vereinbarter Zustand des in der festgelegten Betriebsart betriebenen Reinraums oder reinen Bereichs mit der Ausrüstung in Betrieb und mit der festgelegten Anzahl anwesender Personen” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Bezugsnormal

Normal, im Allgemeinen von der höchsten verfügbaren Genauigkeit, an einem betrachteten Ort oder bei einer Organisation, von dem Messungen abgeleitet werden. [in Anlehnung an Internationales Wörterbuch der Metrologie (VIM 2008), 5.6 (1)] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Bezugsquader

Der Bezugsquader ist ein hypothetischer Körper in der Form des kleinsten Quaders, der die Maschine (abgesehen von einzelnen, nicht zur Schallabstrahlung beitragenden Bauteilen) gerade einschließt und an der (den) reflektierenden Ebene(n) endet. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Blindwert

Der Blindwert repräsentiert die zusätzliche Verunreinigung bei der Prüfung des/ der Bauteile, die sich, beginnend beim Auspacken des Bauteils bis einschließlich der Analyse der Partikelfracht, einstellen können.

Faktoren, die das Analyseergebnis beeinflussen können sind:

– Umgebung (Luft/ Personal/ Arbeitsplatz)

– Prüfflüssigkeit

– Gegenstände, die in KOntakt mit dem Bauteil und der Prüfflüssigkeit kommen

Die Sauberkeit des Prüfumfeldes muss dem von dem Bauteil geforderten Sauberkeitsniveau angepasst sein. Dies wird bei der Bestimmung des Blindwertes überprüft.

Der zulässige Blindwert darf 10 % des geforderten Sauberkeitswerts des Bauteils nicht überschreiten.

(Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Bracketing and Matrixing

Reduzierung des Prüfumfangs im Rahmen einer Reinigungsvalidierung auf Basis einer Risikobewertung, indem nur die Extreme aus Reinigungssicht berücksichtigt werden (Bracketing) und vergleichbare Produkte oder Prozesse zusammengefasst werden (Matrixing). (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

CAH

Abkürzung für computer aided handling: System zur Stimulation von Handhabungsvorgängen. Dazu werden z.B. geometrische Modelle zwischen DAD-Systemen und CAH ausgetauscht. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

CAPA

Vorgang der systematischen Untersuchung von auftretenden Abweichungen mit der anschließenden Ableitung oder Durchführung von Korrekturmaßnahmen und Vorbeugungsmaßnahmen. [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-9, 3.3] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Carrier

Handhabungseinrichtung in der Halbleiterfertigung zum Halten von Materialien für verschiedene Prozessschritte [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Cassete

Handhabungseinrichtung aus Metall oder Kunststoff zum Halten von Wafern und / oder Masken während des Transports oder eines Prozesses. [ DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

CIP/SIP

Cleaning-in-Place, Steaming-in-Place Vorrichtung zum Reinigen von Rohrleitungen, Maschinen oder Maschinenteilen mit Reinigungsmitteln zum Großteil auf automatisierter Basis, nachfolgende Desinfektion durch Heißdampfsterilisation im geschlossenen Kreislauf ohne Eingriff des Menschen.

Dämmwirkung

Die Dämmwirkung beschreibt die Reduzierung der Schallausbreitung durch Hindernisse, z.B. durch eine Schallschutzhaube oder -kabine, einen Schallschirm, einen Gebäudeteil oder Gehörschutz. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

Dämpfe

Sind Stoffe im gasförmigen Aggregatzustand, die durch Verdampfung an der Oberfläche einer Flüssigkeit bzw. durch Sublimation an einem Feststoff entstehen können. Dämpfe können bei Umgebungsbedingungen kondensieren und verhalten sich ansonsten ähnlich wie Gase. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Deionisiertes Wasser

DI-Wasser; vollentsalztes Wasser; VE-Wasser; Deionat

Wasser, das von Ionen (Anionen und Kationen) der sich in der Lösung befindlichen Salze zu einem vorbestimmten Grad befreit wurde. (Quelle: VDI 2083; Blatt 13.1, Düsseldorf 2009)

Dekontamination

Bezeichnet das gezielte Entfernen von Verunreinigungen auf ein definiertes Niveau (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.1, Düsseldorf 2010)

"Verringerung von unerwünschtem Material auf einen festgelegten Grad"

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Dekontaminationsfaktor

Z_D ist der Kehrwert des Durchlassgrades, er wird speziell für Filter mit hohen Abscheidegraden benutzt:

Z_D = c₁ / c₂= 1/D Z_D = 10³

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Dekontaminationsindex

ID gibt an, um wieviel Zehnerpotenzen die ankommende Staubmenge im Filter reduziert wird.

ID = lg ZD ID = 3

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Desinfektion

Inaktivierung aller pathogenen Keime und einer großen Reihe anderer Mikroorganismen auf ein Niveau, das der hygienischen Verwendung der Einrichtung entspricht (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

"Beseitigung, Zerstörung oder Deaktivierung von Mikroorganismen auf Gegenständen oder auf Oberflächen."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Deskriptor für festgelegte Partikelgrößenbereiche

Differentialdeskriptor, der den Grad der partikulren Oberflächenreinheit (SCP) innerhalb festgelegter Partikelgrößenbereiche angibt.

Anmerkung 1 zum Begriff;: Der Deskriptor darf auf Bereiche der Partikelgröße angewendet werden, die von besonderem Interesse sind, oder auf die Partikelgrößenbereich, die außerhalb des Bereichs des Einstufungssystems liegen; er kann sowohl unabhängig als auch als Ergänzung zu den SCP-Klassen festgelegt werden.

(Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02/ 2022)

Diffusionsbatterieelement

"Einzelkomponente einer mehrstufigen Einrichtung zur Ausfilterung von Partikeln nach ihrer Größe, deren Funktion auf Diffusion beruht, die angewendet wird, um kleinere Partikel aus einem Aerosolstrom zu entfernen."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Dopant, Dotiermittel

Substanz, die nach Sorption und/oder Diffusion in die Masse eines Produkts übergeht und die, sogar als Spurenbestandteil, dazu in der Lage ist, die Eigenschaften von Materialien zu verändern.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 8.1, Juli 2009)

Dotierung

"Substanz, die nach Sorption und/ oder Diffusion in die Masse eines Produktes übergeht und die, sogar als Spurenbestandteil, dazu in der Lage ist, die Eigenschaften von Materialien zu verändern."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Durchlassgrad

D ist das Verhältnis der aus dem Filter austretenden zur ankommenden Staubmenge:

D = c₂/c₁ = 1 – ε

Beispiel: D= 0,001 10 -³

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Verhältnis der Partikelkonzentration auf der Abströmseite zur Partikelkonzentration auf der Anströmseite eines Filters.

Maß für die Durchlässigkeit eines Filters gegenüber Natriumchlorid-Aerosolen bzw. Dioctylphthalat-(DOP-) Aerosolen. Die Verfahren, diese Größe zu bestimmen, basieren auf dem flammenphotometrischen Vergleich der NaCl-Konzentration bzw. einer Streulichtmessung in der Luft vor und nach dem Prüfling. (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Durchströmfläche

Querschnittsfläche eines Filterelements, die im Betrieb angeströmt wird.

Effektive Filtermediumfläche

Fläche des in ein Filterelement eingebauten Filtermediums (ohne Klebeflächen, Stege usw.), die im Betrieb durchströmt wird.

Effektive Gesamtzahlbestimmung

Partikelzählverfahren, mit dem die Gesamtanzahl von Partikeln –ohne Größenklassifizierung– in einem bestimmten Probevolumen ermittelt werden kann (z.B. durch Einsatz eines Kondensationskernzählers) [EN 1822-5:2000]

Effektor

Wirkorgan, auch Arbeitsorgan, das unmittelbar auf ein Objekt einwirkt. Bei Handhabungsmaschinen zählen Greifer und Werkzeuge dazu. In der Peripherie eines Roboters können es auch Spannvorrichtungen sein. In der Biologie bezeichnet man den “Erfolgsapparat”, das sind Muskelpartien und Drüsen, ebenfalls als Effektor. [Lexikon Handhabungseinrichtungen und Industrierobotik, Expert Verlag 1994, Dr.-Ing. habil. Stefan Hesse]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Eigenfehlersicherheit

Eigenschaft, von technischen Einrichtungen, insbesondere von Sensoren und Steuerungen, eine eigene Fehlfunktion selbst und mit Sicherheit zu erkennen. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

Eingabefeinheit

Kleinster numerischer Programmierschritt, d.h. kleinste unterscheidbare (Mess-)Einheit, die in einer Steuerung als Sollwert eingegeben werden kann. (Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Fraunhofer, Stuttgart 1997)

Einhausungs- und Barrieretechnik

Vollständige Einhausung des aseptischen Kernbereiches, praktisch mannloser Betrieb bei automatisierbaren Fertigungsschritten. Bedingt eine hohe Verfügbarkeit der Maschinentechnik und CIP-SIP-Vorrichtungen, siehe unten, und definierten Schnittstellen/Schleusen für die Materialzufuhr aus weniger reinen Fertigungsbereichen.

Einzelpartikelzähler DPC (en: Discrete-Particle Counter)

"Messgerät mit Anzeigevorrichtung und Speicher für Anzahl und Größe einzelner Partikel (mit Größenunterscheidung) in einem festgelegten Luftvolumen."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Einzelscheibenhandhabungssysteme (Wafer)

Bei anlageninternen Handhabungssystemen in Halbleiterfertigungsgeräten ist in der Regel die Einzelscheibenhandhabungssysteme realisiert. Hier können prinzipiell vier verschiedene Systeme unterschieden werden:

Luftkissentransport
Riementransport
Hubbalken
Pick & Place

[Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme, Springer-Verlag 1989, Jürgen Geißinger]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Elektrostatische Aufladung

Durch Reibungs- und Trennvorgänge von Materialien (tribologische Aufladung) oder das Einwirken eines elektrischen Felds (Induktion oder Influenz) auftretende Potenzdifferenz. (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Elektrostatische Entladung (ESD)

Spontaner Ladungsübergang zwischen zwei Körpern oder Materialien mit unterschiedlichen elektrostatischen Potenzialen, verursacht durch direkten Kontakt oder induziert durch ein elektrostatisches Feld (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Enddruckdifferenz

empfohlene: jene Druckdifferenz, bei der vom Filterhersteller oder Ersteller der lüftungstechnischen Anlage aus wirtschaftlichen oder technischen Gründen der Filtertausch empfohlen wird.

zulässige: jene Druckdifferenz, die vom Filterhersteller aufgrund der konstruktiven Eigenschaften des Filters als zulässiger Höchstwert angegeben wird. (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Endfilter

Der Endfilter ist ein Luftfilter, das zum Abscheiden des synthetischen Staubes, der durch den Prüfling hindurchtritt, dient. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Letzter Filter zwischen Luftzufuhr und einem Reinen Bereich (Quelle: ÖNORM ENV 1631, 1996 Wien)

Endreinigung

Letzter Reinigungsschritt im Herstellungsprozess, mit dem Bearbeitungsrückstände soweit abgereichert werden, dass bestehende Reinheitsanforderungen aus medizinischer, technischer, oder sonstiger Notwendigkeit erfüllt werden. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Weitere Erläuterungen zum Thema Reinigung und deren Ablauf finden Sie hier erläutert.

Erdableitwiderstand

Elektrischer Widerstand zwischen einer Elektrode auf der Oberfläche des Werkstoffs und dem Werkstoff-Erdungspunkt, welcher auf dem Potenzial 0 V liegt (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

“elektrischer Widerstand zwischen einer Elektrode an einem beliebigen Oberflächenpunkt des Betriebsmittels und dem Betriebsmittel-Erdungspunkt, der auf dem Potenzial o V (Masse) liegt” (Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

(Prüfung der) Erholzeit

“Die Prüfung der Erholzeit wird durchgeführt, um zu bestimmen, ob die Anlage in der Lage ist, nach kurzer Beaufschlagung durch eine Quelle von luftgetragenen Partikeln innerhalb einer begrenzten Zeitspanne wieder zu ihrer festgelegten Reinheitsklasse zurückzukehren. Diese Prüfung wird für Anlagen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung nicht empfohlen. Das Verfahren für diese Prüfung wird in B.12 angegeben. (Anmerkung: Bei Verwendung eines künstlichen Aerosols sollte eine Restkontamination der Anlage vermieden werden.)” (Quelle: DIN EN ISO 14644-3:2005, Kapitel 4.2.9 Prüfung der Erholzeit)

Im Gegensatz zur Prüfung der Erholzeit von Reinräumen, bei denen es nur in turbulenten Bereichen sinnvoll ist, wird die Erholzeit in Minienvironments, in denen meist eine turbulenzarme Verdrängungsströmung herrscht, auch durchgeführt. Richtlinien aus der Halbleiterindustrie schlagen eine Erholzeit in Minienvironments von einer (1) Minute vor. Dies kann gegebenenfalls auf Grund der Komplexität einer Maschine mit Minienvironment und/ oder einer geringen Luftgeschwindigkeit innerhalb des Minienvironments von dieser Vorgabe abweichen.

Erst-Inbetriebnahme

"Vorbereitung und Inbetriebnahme einer Anlage einschließlich alles Systeme.

ANMERKUNG: Bestandteil der "Systeme" können Vorgehensweisen, Schulungsanforderungen, Infrastruktur, Hilfseinrichtungen sowie Anforderungen sein, die durch das öffentliche Versorgungsnetz gegeben sind."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Erstprüfung (Qualifizierung)

Prüfung bei Übergabe an den Auftraggeber zum Nachweis, dass die vereinbarten Akzeptanzkriterien eingehalten werden (Quelle: VDI 2083, Blatt 19, Düsseldorf 2018)

Mehr zu Serviceleistungen und Messungen in reinen Umgebungen finden Sie hier.

Extraktion

Extraktion beschreibt ein probenehmendes Verfahren, um Partikel mittels Prüfflüssigkeit vom Bauteil abzutragen und diese auf einen Analysefilter zu sammeln.

Extraktionsmethoden:

Spritzen – Prüfflüssigkeit wird mittels Feinstrahl auf das Bauteil oder bestimmte Bauteilflächen aufgebracht, um Partikel zu lösen
Ultraschall – Lösen der Partikel mittels Ultraschallbad
Spülen – Bei der Extraktion mittels Spülstand wird ein geschlossenes Bauteil mit einer Prüfflüssigkeit innen durchströmt, um die Partikel der benetzten Oberfläche abzulösen und auszutragen
Schütteln – Das Bauteil (z.B. Rohrleitung) wird mit Prüfflüssigkeit befüllt und die Öffnungen werden verschlossen. Durch Schütteln unterstützt, werden Partikel gelöst und auf die Prüfflüssigkeit übertragen.

(Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Exsikkator

Zur präzisen Wägung ist eine sorgfältige Präparation und Trocknung des Analysefilters im Trockenofen bei anschließender Rückkühlung im Exsikkikator erforderlich. Im Exsikkator befinden sich Indikationstrockenperlen, die beim Abkühlen des Analysefilters auf Raumtemperatur verhindern, dass Luftfeuchtigkeit vom Filter aufgenommen wird.

(Quelle: Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Fachkräfte

Als Fachkraft gilt, wer aufgrund seiner fachlichen Ausbildung, Kenntnisse und Erfahrungen sowie Kenntnis der einschlägigen Bestimmungen die ihm übertragenen Arbeiten beurteilen und mögliche Gefahren erkennen kann. (Quelle: DIN 58 965, Teil 1, Berlin 1990)

Faltenpaket

Zu einem aus gleichartigen Einzelfalten bestehenden Paket verarbeitetes Filtermedium.

Fasern

Nicht metallische Partikel, die bei gleichzeitig einheitlichem Querschnitt eine sehr große Länge im Vergleich zur Breite aufweisen. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

"Partikel mit einem Längenverhältnis (Länge zu Breite) von 10 oder mehr"

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Federal Standard 209 E

“Der Federal Standard 209E wurde im Jahr 2001 eingestellt und durch die ISO-Norm ersetzt. Diese Norm wird jedoch in vielen Vergleichstabellen beibehalten, um die Konsistenz zwischen älteren und neueren Anlagen zu wahren.

In dieser Tabelle sind die empfohlenen Luftwechsel pro Stunde für Reinräume nach ISO 14644-1:2015 und den zugehörigen GMP-Grad und Federal Standard aufgeführt.

Reinraum Standard Richtlinien zur Reinraumklassifizierung

ISO 14644-1	Klasse 3	Klasse 4	Klasse 5	Klasse 6	Klasse 7	Klasse 8
Federal Standard 209E	1	10	100	1.000	10.000	100.000
EU GmP	–	–	A/B	–	C	D
Luftwechsel/ Stunde	360-540	300-540	240-480	150-240	60-90	5-48

Quelle: The Federal Standard 209E
(connect2cleanrooms.de)

Fehlzählung, Zählung des Hintergrundrauschens, Nullzählung

"Zahlergebnis, das ein Einzelpartikelzähler (DPC) aufgrund von unerwünschten Eigenrauschen oder äußerem Rauschen anzeigt, wenn keine Partikel vorliegen."
(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Feinreinigung

Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung unter RKL 10 300. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Mehr zum Thema Reinigung von Baugruppen und Maschinen finden Sie hier.

Fertigung

Zustand der in der festgelegten Betriebsart laufenden Anlage mit dem vorgesehenen, wie vereinbart arbeitenden Personal. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

FFU (Fan-Filter-Unit/ Filter-Ventilator-Einheit)

Modul, bestehend aus einem oder mehreren Ventilatoren oder mehreren Filterelementen zur Erzeugung eines reinen Luftstroms (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Weitere Informationen zu Lüfter-Filter-Modulen finden Sie hier.

Filter

Eingebautes Filter

Aus Filtermedium, Filterrahmen und Haltesystem bestehende Einheit, welche in Decke, Wand, in ein Gerät oder in einen Luftkanal eingebaut ist.

Endständiges Filter

Unmittelbar am Kanalende (am Luftaustritt in den Reinraum) installiertes Filter.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Filterelement

Das von einem Rahmen umschlossene Faltenpaket

Filtermedium

Planes, ungefaltetes Filtermaterial

Filtermediumgeschwindigkeit

Volumenstrom dividiert durch die effektive Filtermediumfläche eines Filterelements.

Flowbox

Veralteter und inzwischen ungebräuchlicher Begriff. Der Begriff Flowbox wird durch Kunden für verschiedene Produkte verwendet und ist daher missverständlich. Diese Produkte sind:

Fraktionsabscheidegrad

Abscheidegrad für einen bestimmten Partikeldurchmesser. Der Fraktionsabscheidegrad in Abhängigkeit vom Partikeldurchmesser wird als Fraktionsabscheidegradkurve dargestellt.

Fraktionierendes Partikelzählverfahren

Partikelzählverfahren, das sowohl die Ermittlung der Partikelanzahl als auch eine Größenklassifizierung der Partikel ermöglicht (z.B. durch Einsatz eines optischen Partikelzählers) (Aus: prEN 1822-5:1996-03) (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

Freifeld

Das Freifeld ist ein Schallfeld ohne Begrenzungsflächen oder mit absorbierenden Begrenzungsflächen, deren Einfluss auf das Schallfeld im Bereich der Messfläche im interessierenden Frequenzbereich vernachlässigbar ist. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Fremdgeräsuch

Als Fremdgeräusch gilt jedes Geräusch, das nicht von der zu untersuchenden Maschine erzeugt wird oder das von angeschlossenen Bauteilen, die nicht zum Messgegenstand gehören, unmittelbar ausgestrahlt wird. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Fügeprozesse

Montagarbeiten, wie Stecken, Schrauben, Verstiften, Gängeln, Schleifen, Polieren, Schaben, Gewindenachschneiden, Abstimmen, Fassen, Graten, Börteln, Löten, Schweißen, Justieren, Prüfen, Messen u.a. (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Gangzone (GZ)

Arbeitsbereich des RR-Personals mit der höchsten Reinheit für operative Steuerungen der EM, Wartung und Kleinreparaturen (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Gase

Sind Stoffe in einem Aggregatzustand, in dem Moleküle infolge Brown’scher Molekularbewegung frei im Raum bewegen können und bei Umgebungsbedingungen nicht kondensieren. Die mittleren Abstände der Moleküle gegenüber ihren Abmessungen sind groß. Die Moleküle haben daher das Bestreben, den ihnen zur Verfügung stehenden Raum gleichmäßig auszufüllen. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Gebrauchsnormal

Normal, das routinemäßig benutzt wird, um Maßverkörperungen, Messgeräte oder Referenzmaterialien zu kalibrieren oder zu prüfen. [in Anlehnung an Internationales Wörterbuch der Metrologie (VIM 2008), 5.7[1]] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Gebrauchstüchtigkeit

Qualität und Widerstandsfähigkeit/Beständigkeit gegen das zeitbedingte Nachlassen notwendiger Gebrauchseigenschaften der Oberfläche eines Betriebsmittels oder dessen Verschleißfestigkeit

Anmerkung: Die Alterungsbeständigkeit ist eine der physikalisch-chemischen Struktur innewohnende Eigenschaft. Die Verschleißfestigkeit beruht auf den mechanischen Eigenschaften des Betriebsmittels und lässt sich mit physikalischen Methoden prüfen.

(Quelle:VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Genauigkeit, Genauigkeitsklasse

Die Genauigkeit ist die allgemeine qualitative Bezeichnung für die Annäherung von Beurteilungsergebnissen (Beobachtungs-, Berechnungs- sowie statistische Schätzergebnisse) an die exakten oder an die wahren Werte. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Gerätespezifikationen

Streulicht- Einzelpartikelzähler

LSAPC (en: light scattering (discrete) airborne particle counter)

Gerät, das in der Lage ist, einzelne luftgetragene Partikel zu zählen und deren Größe zu bestimmen und Größendaten

als optische Äquivalentdurchmesser auszugeben

Makropartikel-Einzelzähler

Gerät, das in der Lage ist, einzelne luftgetragene Makropartikel zu zählen und deren Größe zu bestimmen

Partikeldepositionszeitmessgerät

Gerät zur Einzelpartikelzählung und -größenbestimmung, das den aerodynamischen Durchmesser von Partikeln durch

Messung der Zeit bestimmt, die vergeht, bis sich ein Partikel einer Änderung der Luftgeschwindigkeit angepasst hat”

(Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Geregelter Betriebszustand

Der geregelte Betriebszustand ist eine Betriebsweise, bei der eine gleichmäßige Erneuerung des Filtermediums eines Luftfilters mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium eine sich annährend wiederholende gleichartige Auswirkung auf die Leistungswerte hat, die dadurch gesteuert werden. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Gleichförmigkeit der Strömung

"turbulenzarmes Strömungsprofil, bei dem die Messwerte der Luftgeschwindigkeit von Punkt zu Punkt um nicht mehr als den festgelegten Prozentsatz von der mittleren Strömungsgeschwindigkeit abweichen."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Grauzone

Arbeitsbereich mit erhöhten Reinheitsanforderungen ohne definierte RKL und geringere Partikelkonzentration als die Außenatmosphäre (Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Gravimetrie

Ist die Bestimmung der Masse der Partikel.

Die abgelöste Partieklfracht des / der Bauteile wird durch den Massenzuwachs eines Analysefilters bestimmt. (Differenzwägung)

Hierzu wird ein Analysefilter vor und nach der Filtration der Analyseflüssigkeit mittels einer empfindlichen Analysewaage gewogen.

(Quelle: Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Halbisolatortechnik

Bedienung und Wartung der eingehausten Maschinen oder Maschinenelemente aus dem Außenbereich durch Aufteilung der Fertigungseinrichtung in einen aseptischen und einen Bedienpart. Bedingt ebenfalls Automatisierungsanstrengungen im Aseptikbereich.

Handhabung, Handling

Alle Vorgänge, bei denen ein geometrisch bestimmter Körper in eine definerte Position und Orientierung zu einem festen Koordinatensystem gebracht und bzw. oder zeitweise in dieser Lage gehalten wird oder bei denen man mit einem Körper eine definierte Bewegung ausübt. Es können weitere Bedingungen vorgegeben sein, wie z.B. Menge der gleichzeitig zu handhabende Körper, Zeit und Bewegungsbahn. Veränderungen am Körper sind während der Handhabung nicht beabsichtigt. Eine Handhabung ist im Allgemeinen nicht auf bestimmte Produktionsbereiche festgelegt, soweit es um geometrisch beschreibbare Gegenstände geht. [Dr.-Ing. habil. Stefan Hesse, Lexikon Handhabungseinrichtungen und Industrierobotik, Expert Verlag 1994]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Handschuh

"(eines SD-Moduls) Teil einer Zugangsvorrichtung mit dem eine wirksame Barriere aufrechterhalten wird, während es der Bedienperson möglich ist, mit den Händen in das eingeschlossene Volumen eines SD-Moduls hineinzugreifen."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Hardwall-Kabine

Im Gegensatz zur Softwall-Kabine ist die Hardwall-Kabine ein Reinraum mit festen Wandflächen. Die Wandflächen können z.B. aus PVC-Hartschaum, Edelstahl-Lochblech und Einscheibensicherheitsglas bestehen.

Weitere Informationen zum Thema Hardwall-Kabine finden Sie hier.

HEPA-Filter

Schwebstofffilter (High Efficiency Particulate Air Filter), Klassen H 10 bis H 14

Horizontalströmung

Die Luftströmung verläuft waagerecht aus der Filterwand und fällt mit der Entfernung langsam zum Boden ab. Dieses Prinzip bietet sich an, wenn der vertikale Luftstrom durch den Aufbau von Maschinen verhindert wird, oder die verunreinigte Luft nur horizontal abgeführt werden soll/kann.

Impingement

Abscheidung von luftgetragenen Partikeln in Flüssigkeiten durch mehrere zugrunde liegende Mechanismen wie Impaktion, Diffusion, Interzeption und Sedimentation. [VDI 4252 Blatt 3 und VDI 4257 Blatt 2]
(Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Impinger

Spezielle Gaswaschflasche aus Glas oder Teflon, die dem Sammeln von Luftbestandteilen dient. Die Luft wird im Impinger in Kontakt mit einer Sammelflüssigkeit (Lösemittel oder Sorptionsmedium) gebracht [VDI 2083, Blatt 8.]
(Quelle: VDI 2083, Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Inbetriebnahme

Erst-Inbetriebnahme

Vorbereitung und Inbetriebnahme einer Reinraumanlage einschließlich aller Systeme nach Durchführung einer baulichen Maßnahme. Alle für die Funktion eines Systems relevanten Vorgänge und Erfordernisse werden dazugerechnet, z.B. Dokumentation, Schulung und der Betrieb von Hilfseinrichtungen.

Inbetriebnahme

Geplante und dokumentierte Reihe von Inspektionen, Einstellungen und Prüfungen, die systematisch mit dem Ziel durchgeführt werden, die Reinraumanlage bestimmungsgemäß in Betrieb zu setzen.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Indirektes Prüfverfahren

Beurteilung der zu bestimmenden Verunreinigung mit Zwischenschritten durch Ablösung der Verunreinigung vom Bauteil. [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-9, 3.4] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Integrierte Fahrweise # veraltet aus dem Jahr 1984

Die gesamte Zuluft für den reinen Bereich wird über LF-Geräte geleitet, die durch Erzeugung turbulenzarmer Verdrängungsströmung den Reinheitsgrad der Luft örtlich senken. Der übrige Bereich wird durch gezielte Luftführung turbulent durchlüftet.

ISO-Klasse

“Grad (oder die Vorgehensweise der Festlegung oder Bestimmung des Grads) der Partikelreinheit der Luft, der für einen Reinraum oder Reinen Bereich verwendet wird. Der Grad wird in Form von einer ISO-Klasse N ausgedrückt, welche den Höchstwert der zulässigen Konzentrationen (in Partikel je Kubikmeter Luft) für die betrachteten Partikelgrößen darstellt.”

(Quelle: DIN EN ISO 14644-2:1999, Kapitel 2.1.4 Klassifizierung)

In der überarbeiteten Richtlinie aus dem Jahr 2016 ist hierbei jedoch nur folgende Definition für die Klassifizierung zu finden: “Verfahren zur Beurteilung des Reinheitsgrades in Bezug auf eine Festlegung für einen Reinraum oder einen reinen Bereich. Anmerkung 1 zum Begriff: Die Grade sollten als ISO-Klasse angegeben werden, die den Höchstwert der zulässigen Konzentrationen von Partikeln in einer Einheit des Luftvolumens darstellt.” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06, Kapitel 3.1.4 Klassifizierung)

Eine ISO-Klasse 1 stellt dabei die beste Luftreinheit dar mit weniger und kleineren luftgetragenen Partikeln, als in der ISO-Klasse 5 beispielsweise zu finden.

Integriertes Mini-Environment

Mini-Environment, das mit dem Prozesstool fest verbunden oder in dieses integriert ist und damit fester Bestandteil des Prozesstools ist (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Weitere Informationen zum Minienvironment finden Sie hier.

Integriertes Partikelzählverfahren

Partikelzählverfahren, mit dem die Gesamtanzahl von Partikeln – ohne Größenklassifizierung – in einem bestimmten Probevolumen ermittelt werden kann (z.B. durch Einsatz eines Kondensationskernzählers). (Aus: prEN 1822-5:1996-03) (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

Kaskadenimpaktor

"Probenahmegerät, das Partikel aus einem Aerosol durch Aufprall auf eine Reihe von Sammelflächen sammelt.

ANMERKUNG: Jede folgende Sammelfläche ist einer höheren Strömungsgeschwindigkeit ausgesetzt als die ihr vorgeschaltete, wodurch sie in der Lage ist kleinere Partikel zu sammeln als diese."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Kalibrierung

Vergleich eines Messstandards oder eines Instruments mit unbekannter Genauigkeit mit einem anderen Standard oder Instrument mit bekannter Genauigkeit. Die Kalibrierung soll der Bestimmung, Zuordnung, Beschreibung oder Beseitigung jeglicher Abweichung in der Genauigkeit des unbekannten Standards oder Instruments dienen. Bei Abweichungen ist eine Justierung vorzunehmen. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Käufer

Die für die Bereitstellung und Bezahlung bzw. Anweisung der Bezahlung einer Anlage verantwortliche Organisation. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Kernbereich

Bereich, in dem ein Prozess abläuft und Wechselwirkungen zwischen Prozess und Umgebung stattfinden.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Stelle, an der der Prozess sowie die Wechselwirkung zwischen Prozess und Umgebung stattfindet [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-4; 3.9]

(Quelle:VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Killerpartikel

Einzelne Partikel, welche aufgrund ihrer physikalischen Eigenschaften (Größe, Form und Material) zum Totalausfall einer Komponente oder ganzer Systeme führen können. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Klassifizierung

“Verfahren zur Beurteilung des Reinheitsgrades in Bezug auf eine Festlegung für einen Reinraum oder einen reinen Bereich” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

“Einteilung der Partikelreinheit der Luft nach KLassengrenzen [VDI 2083 Blatt 1]; Anmerkung: Die Klassengrenze stellt den Höchstwert der zulässigen Partikelkonzentration für eine bestimmte Partikelgröße dar. [VDI 2083 Blatt 1] (Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Nach ISO 14644-1 muss die Reinheit in einem Reinraum oder reinen Bereich für mindestens einen der folgenden Betriebszustände festgelegt sein:

Bereitstellung
as-built: Vollständig fertiggestellter und in Betrieb befindlicher Reinraum, ohne Personal und ohne stattfindende Produktion Leerlauf
at-rest: Vollständig fertiggestellter und in Betrieb befindlicher Reinraum, mit laufenden Produktionseinrichtungen, ohne Personal Fertigung
in-operation: In Betrieb befindlicher Reinraum mit laufender Produktion und arbeitendem Personal.

Die Abnahmemessung nach Fertigstellung eines Reinraumes findet üblicherweise im Betriebszustand as-built statt, bei einer Reinraum(re-)qualifizierung werden die Zustände at-rest und/oder in-operation betrachtet. Zur Anwendung und Methodik der Reinraumklassifizierung ist auch die Richtlinie VDI 2083 zu beachten.

Koinzidenzfehler

Fehler, der dadurch entsteht, dass sich zur gleichen Zeit mehr als ein Partikel im Messvolumen eines Partikelzählers aufhält. Der Koinzidenzfehler führt zu einer geringen gemessenen Anzahlkonzentration und einem zu großen mittleren Partikeldurchmesser.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-2: November 1997; Schluss-Entwurf, Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 2: Aerosolerzeugung, Messgeräte, Partikelzählstatistik; Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Kondensationskeimzähler CNC (en: Condensation Nucleus Counter)

"Gerät, das in der Lage ist, ultrafeine Partikel zwecks nachfolgender Zählung mittels optischer Partikelzähltechniken durch Kondensation zu vergrößern"

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Kondensationskernzähler

Ein Instrument zur Zählung kleiner luftgetragener Partikel, ca 0,01 μm und größer, durch optische Detektion von Tröpfchen, die sich durch Kondensation von Dampf auf den kleinen Partikeln bilden. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Kontaminante

Substanz, die die Eigenschaften des Produktes, Prozesses oder Equipments unerwünscht und stark wahrnehmbar chemisch oder physikalisch verändert oder sich schädlich auf Mensch und Umwelt auswirkt (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Kontaminante, organische

Mit wenigen Ausnahmen umfassen organische Kontaminanten alle Verbindungen, die der Kohlenstoff mit sich selbst und anderen Verbindungen eingeht. Ausnahmen sind beispielsweise Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Schwefelkohlenstoff, Kohlensäure, Karbonate (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Kontaminantenfamilie

Gruppe von Kontaminanten mit ähnlichen chemischen Eigenschaften (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

"gemeinsame Bezeichnung für eine Gruppe von Verbindungen, die bei Ablagerung auf der interessierenden Oberfläche eine spezifische und ähnliche schädliche Wirkung entfalten."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Kontaminantengruppe

allgemeine Bezeichnung für eine Gruppe von Verbindungen, die bei Ablagerung auf der fraglichen Oberfläche eine spezifische und ähnlich schädliche Wirkung zeigen

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

Kontamination

Stoffe, welche potenziell eine negative Auswirkung auf die Qualität eines Erzeugnisses aufweisen, werden als Kontamination bezeichnet und können chemischer, physikalischer, biologischer oder radiologischer Natur sein. Partikel gehören zu den physikalischen Verunreinigungen und sind einzeln vorliegende Teilchen in festem Zustand. Diese können sich auf Produktionsoberflächen, in der umgebenden Raumluft, in Prozessmedien oder auf dem Produkt befinden.

(Quelle: Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Kontinuierliche Abtastung

"Verfahren zur Entdeckung von Lecks in Filtern und Teilen von Filtereinheiten, wobei die Einlassöffnung der Sonde eines Aerosolphotometers oder Einzelpartikelzählers mit überlappenden Bewegungen über den festgelegten zu prüfenden Bereich geführt wird."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Kontrollpunkt

"Ort innerhalb eines kontrollierten Bereiches, der kontrolliert wird, und an welchem eine Gefährdung durch Vorbeugung, Ausschluss oder Minderung auf annehmbarem Niveau gehalten werden kann."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Konzentration

c ist das Verhältnis von Staubmenge zu Luftmenge (meistens in Verbindung mit Staub- oder Reinluftseite des Filters), z.B. in Teilchen/m³ oder mg/m³.

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Korrekturmaßnahme (Corrective Action):

Maßnahme zum Beseitigen der Ursache einer Nichtkormität und zum Verhindern des erneuten Auftretens. [DIN EN ISO 9000, 3.12.2] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

"Maßnahme, die zu ergreifen ist, wenn die Ergebnisse der Überwachung das Überschreiten von Warn- oder Aktionsgrenzen aufzeigen."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Korrosion

Reaktion eines metallischen Werkstoffs mit seiner Umgebung, die eine messbare Veränderung des Werkstoffs bewirkt und zu einer Beeinträchtigung der Funktion eines metallischen Bauteils oder eines ganzen Systems führen kann (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Kreuzkontamination

Kreuzkontaminationen sind Kontaminationen von Personen oder benachbarter Prozesse, die den zu betrachtenden Prozess negativ beeinflussen. Die Möglichkeit einer Kreuzkontamination ist vor allem in Reinräumen mit turbulenter Mischlüftung gegeben. Bei Reinräumen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung oder in Minienvironments ist die Gefahr einer Kreuzkontamination geringer, da dort die Kontaminationen gezielt in unkritische Bereiche abgeführt werden.

Lärm

Lärm im Sinne der Lärm- und Vibrations-Arbeitsschutzverordnung ist jeder Schall im Frequenzbereich zwischen 16 Hz und 16kHz (Hörschall), der zu einer Beeinträchtigung des Hörvermögens oder zu einer sonstigen mittelbaren oder unmittelbaren Gefährdung von Sicherheit und Gesundheit der Beschäftigten führen kann. (Quelle: BAuA Geräuscheemissiont TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

Lebensfähige Einheit LE

"ein oder mehrere lebensfähige Partikel, die als gesonderte Einheit gezählt werden.

ANMERKUNG: Wenn die Zahl der lebensfähigen Einheiten durch Zählung der Koloniezahl auf Agarmedien bestimmt wird, werden diese üblicherweise als koloniebildende Einheit (KBE) angegeben. Eine KBE kann aus einer oder mehreren lebensfähigen Einheiten bestehen."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Leck

Durch ein Leck tritt an einer Stelle (z.B. Filter, Reinraumdecke,…) unkontrolliert verunreinigte Luft in den reinen Bereich, die mit ihrem Reinheitsgrad die zulässige Teilchenzahl örtlich überschreitet.

Unsere fertigen Produkte werden nach Fertigstellung intern getestet und beispielsweise auf Leckfreiheit überprüft. Weitere Produktionsbedingungen sind hier zu finden.

Leck

Stelle in einem Filterelement, an der der lokale Abscheidegrad einen festgelegten Grenzwert unterschreitet.

Leckprüfung am eingebauten Filtersystem

"Prüfung zur Bestätigung, dass die Filter ordnungsgemäß eingebaut sind, indem nachgeprüft wird, dass keine Leckluft auf Umwegen in die Anlage gelangt und dass Filter und gegebenenfalls das Deckensystem frei von Beschädigungen und Lecks sind."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Leerlauf

Zustand der vollständigen Anlage mit eingebauten und wie zwischen Käufer und Lieferant vereinbart laufenden Produktionseinrichtungen, jedoch ohne Personal. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Lichtdurchlässigkeit

Die Lichtdurchlässigkeit ist das Verhältnis aus der Größe des Lichtstroms, der durch ein durchscheinbares Material trifft zu dem Lichtstrom, der ihm zugeführt wird. Sie wird in % angegeben. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Lieferant

Die für die Lieferung einer Anlage nach Käuferspezifikation verantwortliche Organisation. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Low Boron

Immer häufiger erreicht uns die Nachfrage, ob und wie viel Bor in unseren Produkten enthalten ist. Es wird von LowBoron-Medien gesprochen. Doch was macht Bor eigentlich so gefährlich?

In geringen Mengen ist das Halbmetall Bor nicht gefährlich. Auch in der Nahrung ist es in kleinen Mengen enthalten und kann über die Nieren bei einem gesunden Menschen innerhalb von 3-4 Tagen wieder ausgeschieden werden. Bei einer andauernden Aufnahme von Borverbindungen kann es jedoch zu einer chronischen Vergiftung kommen. Es können Symptome wie Übelkeit und Erbrechen auftreten. Außerdem kann Bor das Zentrale Nervensystem und die Nieren schädigen und die Fruchtbarkeit bei Männern und Frauen beeinträchtigen.

Doch auch auf Produkte kann Bor einen negativen Einfluss haben. Bor in seiner Ursprungsform ist ein festes Halbmetall. In Kombination mit Wärme und Sauerstoff bildet sich das gasförmige Boroxid B2O3. Wird dies wiederrum in Wasser gelöst kann sich ätzende Borsäure bilden.

Bor wird bei der Glasherstellung ins Material eingebracht. Somit sind HEPA-Filter eher mit Bor belastet als PTFE-Filter. Filter mit der Bezeichnung LowBoron wurden nur etwas „gelüftet“, so dass das Bor ausgedünstet ist.

Ein minimales Restrisiko liegt dann bei den Dicht-/Klebestoffen. Jedoch haben wir dahingehend noch nie Hinweise erhalten.

Lüfter-Filter-Modul

(auch Filter-Fan-Unit (FFU)) oder Filter-Fan-Modul (FFM)) Ein Lüfter-Filter-Modul ist eine kompakte Versorgungseinheit für Reinstluft. Diese Module bestehen in den meisten Fällen aus Gehäuse, Filterelement (HEPA- oder ULPA-Filter) und Ventilator. Produktabhängig kann es zu geringfügigen Abweichungen vom Grundaufbau kommen. Ggf. kann ein Lüfter-Filter-Modul mit Vorfilterelementen ausgestattet sein. Diese werden zum Schutz des HEPA/ULPA-Filters vor Grobstaub eingesetzt. In Sonderfällen können diese Vorfilter als chemische Filter ausgelegt sein, um molekulare Verunreinigungen aus der Luft herauszufiltern.

FFU-mit-Beschriftung

Weitere Informatioen zum Lüfter-Filter-Modul finden Sie hier.

Luftfremde Stoffe

Im Sinne dieser Richtlinie (Gefahrstoffe, belästigende Stoffe) sind alle in der Luft enthaltenen Stoffe, die nicht zu der normalen Luftzusammensetzung gehören. Diese treten als Gase, Dämpfe, Nebel, Rauche und Stäube auf. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Luftvolumenstrommittelwert

"gemittelter Luftvolumenstrom je Zeiteinheit für die Bestimmung der Luftwechselzahl in einem Reinraum oder Reinen Bereich, in Kubikmeter je Stunde

ANMERKUNG: Der Luftvolumenstrom wird in Kubikmeter je Stunde (m³/h) angegeben"

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Luftwechselzahl

Zahlenwert, der den Luftwechsel im reinen Bereich, bezogen auf die Zeiteinheit 1 Stunde angibt.

"Luftaustausch, beschrieben durch die Anzahl der Luftwechsel je Zeiteinheit und berechnet durch Division des je Zeiteinheit zugeführten Luftvolumenstroms durch das Volumen des Raums."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

M-Deskriptor

“Bezeichnung für die gemessene oder festgelegte Konzentration von Makropartikeln je Kubikmeter Luft, angegeben in Form eines Äquivalentdurchmessers, der für das verwendete Messverfahren charakteristisch ist” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

"Gemessene oder festgelegte Konzentration von Makropartikeln je Kubikmeter Luft, ausgedrückt in Form eines Äquivalentdurchmessers, der für das verwendete Messverfahren charakteristisch ist.

ANNMERKUNG: Der M-Deskriptor kann als Obergrenze für durchschnittliche Probenahmeorte betrachtet werden, (oder als eine obere Vertrauensgrenze in Abhängigkeit von der Anzahl der verwendeten Probenahmeorte, die den Reinraum oder den Reinen Bereich beschreiben). M-Deskriptoren eignen sich nicht, um Partikelreinheitsklassen der Luft zu definieren, aber sie können unabhängig oder in Verbindung mit einer Partikelreinheitsklasse der Luft zitiert werden."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Mediendurchmesser der Partikelmasse MMD (en: mass median particle diameter)

"Mediandurchmesser der Partikel auf der Grundlage der Partikelmasse

ANMERKUNG: Bei Medianwert der Partikelmasse wird die Hälfte der Masse aller Partikel durch Partikel gebildet, deren Durchmesser geringer ist als der Mediandurchmesser der Partikelmasse, die andere Hälfte durch solche, deren Durchmesser größer ist."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Messabstand d

Der Messabstand d ist der kleinste Abstand der Messfläche vom Bezugsquader. Der einer Quader-Messfläche ist d der Abstand der parallelen Seitenflächen von Messfläche und Bezugsquader. Bei einer (Halb-)Kugel-Messfläche ist d der kürzeste Abstand der Ecken des Bezugsquaders zur Messfläche. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984) (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Messfläche

Die Messfläche ist eine gedachte Fläche (Hüllfläche), die die Maschine umhüllt, gegebenenfalls an reflektierenden Ebenen endet und auf der die Messpunkte liegen. Der Inhalt der Messfläche (Messflächeninhalt) wird mit S bezeichnet. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Messverfahren

Methode zur Bestimmung von Messgrößen (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

direktes Messverfahren: Beurteilung der zu bestimmenden Kontamination ohne jegliche Zwischenschritte

indirektes Messverfahren: Beurteilung der zu bestimmenden Kontamination mit Zwischenschritten

_{(Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02/ 2022)}

Messverfahren mit feststehenden Sonden

Ermittlung des integralen Abscheidegrades unter Einsatz ortsfester Probenahmesonden auf der Anströmseite und Abströmseite des Prüffilters

(Quelle: Europäische Norm EN 1822-5: August 2000; erstellt von Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 5: Abscheidegradprüfung des Filterelements)

Methodenvalidierung

<Analytik> formeller und dokumentierter Nachweis, dass eine chemische, physikalische oder biologische Analysemethode für ihren Einsatzzweck geeignet ist und die an sie gestellten Anforderungen erfüllt. [in Anlehnung an DIN EN ISO 90000,3.8.13] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Mikroskopie

Durch Mikroskopie werden Partikelgröße und -anzahl ermittelt.

Zur Analyse der Partikelgröße und -anzahl auf dem Analysefilter wird ein computergesteuertes System der Firma Jomesa eingesetzt, dass das automatische Auszählen und Vermessen von Partikeln ermöglicht.

Hierdurch werden genaue und reproduzierbare Ergebnisse der Mikroskopie erzielt.

(Quelle: Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

Minienvironment

Das Minienvironment ist ein lokaler Reinraum, der die saubere / reine Produktionsumgebung im bzw. unmittelbar um eine Maschine herum realisiert. Der Begriff ist im Halbleiterstandard von SEMI definiert. Er ist beschrieben als „a localised environment created by an enclosure to isolate the product from contamination and people” (SEMI E44-95 Guide for Procurement and Acceptance of Minienvironments). Die für viele Prozesse in Hochtechnologiebereichen heutzutage notwendige Reinheit kann meist nur in Minienvironment realisiert werden, da man dadurch einen optimalen Schutz vor Kreuzkontaminationen erhält. Zusätzlich erreicht man bei einer konsequenten Einhaltung der technologischen Prozesse innerhalb der Minienvironments und Gestaltung der Schnittstellen zwischen diesen (Produktübergabe), dass die Bedingungen des umgebenden Raumes (Reinraum) nicht den hohen Ansprüchen der Prozesse mehr genügen muss, sondern eine geringere Luftreinheitsklasse ausreichend ist. Dies macht sich vordergründig bei den laufenden Kosten einer Fertigung im Reinraum bemerkbar.

Weitere Informationen zum Thema finden Sie hier.

Ein Minienvironment ist ein geschlossener Bereich mit Filtereinheiten und Überdruck, so dass in diesem Bereich je nach verwendetem Filter eine ISO-Klasse garantiert werden kann.

Molekulare Oberflächenkontamination SMC (en: Surface Molecular Contamination)

"Vorhandensein solcher molekularer (chemischer, nicht-partikulärer) Substanzen in sorbiertem Zustand die eine schädliche Wirkung auf das Produkt, oder die betroffene Oberfläche im Reinraum oder Reinraumbereich haben können"

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Monitoring

“Unmittelbare systematische Erfassung, Beobachtung und Überwachung von Messgrößen mit den Kernfunktionen

Datenerfassung,
Vergleich mit den Vorgabewerten, gegebenenfalls Alarmierung,
Darstellung/ Visualisierung und
Datenspeicherung/Datenarchivierung.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Monodispers

Ein Aerosol wird als monodispers bezeichnet, wenn die Breite seiner Verteilungsdichtefunktion, beschrieben durch die geometrische Standardabweichung, kleiner ist als σg=1,15.

Aerosole, deren Verteilung eine geometrische Standardabweichung zwischen σg=1,15 und σg=1,5 aufweist, werden als quasi monodispers bezeichnet.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Nebel

Bei Nebeln handelt es sich um feine und feinste Flüssigkeitstropfen. Nebel tritt nur in für den jeweiligen Stoff charakteristischen engen Temperatur- und Druckbereichen auf; neben der Flüssigphase liegt gleichzeitig die Dampfphase vor. Nebel entstehen auch durch rein mechanische Vorgänge, z.B. durch Zerplatzen von Flüssigkeitstropfen. Die Partikelgröße hängt ab vom Entstehungsprozess; durch Kondensation entstandene Nebeltröpfchen sind meist kleiner als die durch mechanische Vorgänge entstandenen. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Nennvolumenstrom

Volumenstrom, für den ein zu prüfendes Filterelement festgelegt ist

Nennwert der Enddruckdifferenz

Der Nennwert der Enddurckdifferenz ist die größte betriebliche Druckdifferenz des Prüflings, nach den Empfehlungen des Herstellers bei Nennvolumenstrom.

Sie wird in Pa angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Nominalleck

"hochzulässige Penetration, bestimmt nach Absprache zwischen Kunde und Lieferant durch ein Leck, das durch kontinuierliche Abtastung einer Anlage unter Verwendung von Einzelpartikelzählern oder Aerosolphotometern gefunden werden kann."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Nullzählrate

Als Nullzählrate bezeichnet man die Anzahl der Zählereignisse je Zeiteinheit, die ein Partikelzähler anzeigt, wenn durch das Messvolumen partikelfreie Luft gesaugt wird. Ursachen für solche Zählergebnisse können Partikelquellen im internen Luftführungssystem, elektronischen Rauschen, ionisierende Strahlung oder Unstetigkeiten in der Versorgungsspannung sein.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-2: November 1997; Schluss-Entwurf, Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 2: Aerosolerzeugung, Messgeräte, Partikelzählstatistik; Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Obere Betriebsdruckdifferenz

Die obere Betriebsdruckdifferenz ist die Druckdifferenz, bei der die Erneuerung des Filtermediums bei Luftfiltern mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium, die über Druck gesteuert werden, in Gang gesetzt wird.

Sie wird in Pa angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Obere Vertrauensgrenze (upper confidence limit UCL)

Die obere Grenze bei der Bestimmung des Mittelwertes, so berechnet, dass in einem gegebenen Prozentsatz von Fällen (hier 95%) die obere Grenze der Bestimmung über dem wahren Mittelwert liegen würde, wenn die Mittelwerte aus einer Probenahme nach Gauss’scher (“Normal”-) Verteilung resultieren würden. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

Oberfläche

“Oberflächen im Sinne der vorliegenden Richtlinie sind alle Flächen die

dem reinen Bereich zugewandt sind,
sich im reinen Bereich befinden und/oder
mit dem hergestellten Produkt in Berührung kommen.”
(Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1 “Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit”, 2006, Kapitel 3.3 Oberflächen)

Abgrenzung zwischen zwei Phasen

Anmerkung 1 zum Begriff: Eine der Phasen ist gewöhnlich eine Festphase und die andere ein Gas, eine Flüssigkeit oder ein anderer Feststoff.

(Quelle: DIN EN ISO 14644-10:2021 – Entwurf vom März 2022)

feste Oberfläche: Grenzfläche zwischen der festen und einer zweiten Phase (Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02/ 2022)

Oberflächenpartikel

feste und / oder flüssige Materie, die an einer betrachteten Oberfläche haftet und diskontinuierlich über diese verteilt ist, mit der Ausnahme filmartiger Materie, die die gesamte Oberfläche bedeckt.

Anmerkung 1 zum Begriff: Die Haftung der Partikel an der Oberfläche erfolgt durch chemische und / oder physikalische Wechselwirkungen.

(Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02 / 2022)

Oberflächenreinheit (partikulär)

“Anzahl von Einzelpartikeln auf einer Bezugsfläche von 1 cm², bezogen auf einen Referenzpartikeldurchmesser von 1 µm, in einem dekadischen Bewertungssystem.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 9.1 “Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit”, 2006, Kapitel 3.3.2 Oberflächenreinheitsklasse (partikulär))

(Quelle: DIN EN ISO 14644-9:2021 / Entwurf von 02 / 2022)

Oberflächenreinheitsklasse (partikulär)

Offline-Messverfahren

“Messverfahren, bei dem Messdaten in zeitlichem Abstand von der Erfassung von Zeit zu Zeit an ein übergeordnetes Datenverarbeitungssystem weitergegeben werden.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Online-Messverfahren

“Messverfahren, bei dem Messdaten direkt, nahezu zeitgleich mit der Erfassung, an ein übergeordnetes Datenverarbeitungssystem weitergegeben werden.”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

Optischer Partikelzähler

Ein auf Streulicht-Prinzip basierendes Instrument mit Anzeige und/ oder Aufzeichnungseinrichtung zur Zählung und Größenbestimmung einzelner Partikel in der Luft. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Ototoxische Substanzen, arbeitsbedingt

Ototoxische Substanzen sind Stoffe, die bei entsprechenden Konzentrationen das Gehör schädigen können. Mögliche Wechsel- und Kombinationswirkungen zwischen Lärm und arbeitsbedingten ototoxischen Substanzen müssen bei Gefährdungsbeurteilung für Tätigkeiten mit gleichzeitiger Belastung durch Lärm und arbeitsbedingte ototoxische Substanzen berücksichtigt werden, soweit dies technisch durchführbar ist. Die Frage der technischen Durchführbarkeit bedeutet z.B., ob arbeitsbedingte ototoxische Substanzen substituiert werden können. (Quelle: BAuA Geräuscheemission TRLV Lärm, Teil: Allgemeines, 2010)

Packungsgrad

P ist das Verhältnis des Volumens aller Körper, die die Abscheideoberfläche bilden (häufig einer Vielzahl von Fasern), zum Gesamtvolumen des Filters:

P = l – α

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Partikel

„kleines Teil Materie mit physikalisch definierten Abgrenzungen” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

Ein festes oder flüssiges Objekt, in der Regel zwischen 0,001 und 1.000 µm groß. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

Partikelabscheidegrad (Ap)

Maß, das die Abscheidung bei bestimmten Staubkörngrößen angibt. Die Größe wird mittels Partikelzähler bestimmt, wobei vor und nach dem Prüfling Partikel einheitlicher Größe gezählt und verglichen werden. (Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Partikeldurchmesser, mittlerer

Medianwert der Anzahldichteverteilung des Prüfaerosols.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Partikelgröße

“Durchmesser einer Kugel, der mit Hilfe einer Vorrichtung zur Bestimmung der Partikelgröße gemessen werden kann, deren Messgröße in vergleichbarem Zusammenhang mit der Messgröße des Partikels steht” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

Geometrischer Durchmesser der Partikel des Prüfaerosols.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Die auftretenden maximalen linearen Ausdehnungen des Partikels in der Betrachtungsebene, wie sie mit einem optischen Mikroskop festgestellt werden, oder der entsprechende Durchmesser eines Partikels, bestimmt mit Hilfe eines automatisch arbeitenden Instruments. Der entsprechende Äquivalenz-Durchmesser ist der Durchmesser einer Referenzkugel mit bekannten Eigenschaften, die im Meßinstrument dieselbe Reaktion hervorruft wie das zu messende Partikel. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

Partikelgrößenmessung mittels der Absetzzeit

"Messung des aerodynamischen Partikeldurchmessers bestimmt durch die erforderliche Zeit für die Bewegung zwischen zwei festen Ebenen.

ANMERKUNG: Bei dieser Messung wird die Verschiebung der Partikelgeschwindigkeit verwendet, die entsteht, wenn ein Partikel mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten in das Strömungsfeld eingeführt wird."

(Quelle: EN ISO 1464-6:2007)

Partikelgrößenverteilung

“Summenhäufigkeitsverteilung der Partikelkonzentration, dargestellt als Funktion der Partikelgröße” (Quelle: ISO 14644-1:2016-06)

kummulative Verteilung der Partikelkonzentration als eine Funktion der Partikelgröße [in Anlehnung an DIN EN ISO 14644-1, 3.2.4] (Quelle: VDI 2083: Blatt 1.1: 2021-01 Düsseldorf)

Partikelkonzentration

Die Anzahl von Einzelpartikeln pro Luftvolumeneinheit. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

Partikelproduktionsrate

Anzahl der je Zeiteinheit von einem Aerosolgenerator erzeugten Partikel

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-2: November 1997; Schluss-Entwurf, Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 2: Aerosolerzeugung, Messgeräte, Partikelzählstatistik; Erstellt von: Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Partikelreinheitsklasse der Luft

Die Reinheit der Luft muss durch die Angabe der maximal zulässigen Anzahl luftgetragener Partikel klassifiziert werden. Die Klassifizierung ist in der ISO 14644-1 und der VDI 2083-1 beschrieben. Die Partikelreinheitsklassen der Luft werden durch Messung der Partikelkonzentration ermittelt. Die Partikelreinheitsklasse der Luft gilt als erreicht, wenn die gemessene Partikelkonzentration in jeder vorab festgelegten Partikelgröße die Grenzkonzentration einhält. Die Partikelreinheitsklasse der Luft muss für einen oder mehrere Betriebszustände festgelegt sein. Diese Betriebszustände können sein:

As built – Reinraum in Betrieb, ohne Einrichtung und ohne Personal
At rest – Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, ohne Personal, keine Produktion
In operation – Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, mit Personal, normaler Betrieb

Mehr zum Thema Partikelreinheitsklasse der Luft können Sie hier nachlesen.

Partikelvorfilter

Vorfilter zur Abscheidung von Partikeln werden in Grobstaubfilter und Feinstaubfilter unterteilt. Die Grobstaubfilter werden in die Klasse G1 bis G4 eingeteilt, die Feinstaubfilter in die Klassen F5 bis F9. Im Aufbau unterscheiden sich diese in Filtermatten, Taschenfilter, Kompaktfilter u.a.. Ggf. können auch HEPA- oder ULPA-Filter als Vorfilterelemente eingesetzt werden. Die HEPA-Filter werden in die Klasse H10 bis H14 und die ULPA-Filter in die Klasse U15 bis U17 eingeteilt. Die Partikelreinheitsklasse der Luft muss für einen oder mehrere Betriebszustände festgelegt sein. Diese Betriebszustände können sein:

As built: Reinraum in Betrieb, ohne Einrichtung und ohne Personal
At rest: Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, ohne Personal, keine Produktion
In operation: Reinraum in Betrieb, mit Einrichtung, mit Personal, normaler Betrieb

Partikelzählverfahren, integrierendes

Partikelzählverfahren, mit dem die Gesamtanzahl von Partikeln -ohne Größenklassifizierung- in einem bestimmten Probevolumen ermittelt werden kann (z.B. durch Einsatz eines Kondensationskernzählers)

(Quelle: Europäische Norm EN 1822-5: August 2000; erstellt von Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 5: Abscheidegradprüfung des Filterelements)

Partikelzählverfahren, fraktionisierendes

Partikelzählverfahren, das sowohl die Ermittlung der Partikelanzahl als auch deren Größenverteilung ermöglichen (z.B. durch Einsatz eines optischen Partikelzählers)

(Quelle: Europäische Norm EN 1822-5: August 2000; erstellt von Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 5: Abscheidegradprüfung des Filterelements)

Passives Mini-Environment

Mini-Environment, das durch eine Einhausung oder Umschließung das Produkt schützt, indem es von der Umgebung abtrennt (Quelle: VDI 2083; Blatt 16.2, Düsseldorf 2021)

Mehr zum Thema Minienvironment finden Sie hier.

Penetration

Die Durchdringung des Filtermediums wird als Penetration bezeichnet und ist das Verhältnis der Partikelkonzentration, welche das Filtermedium verlässt zur Partikelkonzentration, welche in das Filtermedium eindringt. Sie wird in Prozent ausgedrückt und basiert auf speziellen Partikelgrößen.

Pick & Place

Eine der vier Möglichkeiten der Einzelscheibenhandhabung von Wafern ist das Pick & Place. Die Scheibe wird von einem speziellen Greifmechanismus gehalten. Entsprechend der Kinematik des Systems bewegt es sich entlang einer konstanten Raumkurve. Die Be- und Entladepunkte sind in der Regel fest vorgegeben. Dieses System lässt sich platzsparend der Fertigungsanlage anpassen, und die Scheibe wird während der Bewegung definiert gehalten.

[Jürgen Geißinger, Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme, Springer-Verlag 1989]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Planung

Erarbeitung eines Konzepts und Erstellung aller für die Beschaffung einer Anlage erforderlichen Zeichnungen und Spezifikationen. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Pod

Eine Box, die eine Standard-Mechanical-Interface (SMIF) besitzt. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Pod identification tag

Informationsträger, der auf einer Pod montiert ist. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Polydispers

Ein Aerosol wird als polydispers bezeichnet, wenn seine Verteilungsdichtefunktion eine geometrische Standardabweichung von σg>1,5 aufweist.

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Positionieren

Das Positionieren ist das Bewegen eines Körpers aus einer unbestimmten in eine vorgegebene Position. Die Orientierung des Körpers bleibt dabei außer Betracht. Die Funktion Positionieren lässt sich durch Angabe des Ist- und Sollpositionierungsgrades quantifizieren. [VDI 2860, Montage- und handhabungstechnik Handhabungsfunktionen, Handhabungseinrichtungen, Begriffe, Definition, Symbole, VDI-Richtlinien, Mai 1990]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Potenzielle Verunreinigung

Im Rahmen der Risikobetrachtung ermittelte Verunreinigung, die im Herstellungsprozess auf das Medizinprodukt gelangen kann oder potenziell auf den Ausgangsmaterialien vorhanden ist. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)
(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Präzision des Verfahrens

Die Präzision des Verfahrens ist die qualitative Bezeichnung für das Ausmaß der Übereinstimmung zwischen Ergebnissen, wie sie bei wiederholter Anwendung eines festgelegten Ermittlungsverfahrens gewonnen werden. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Probenahmevolumenstrom

Anteil des anströmseitigen oder abströmseitigen Volumenstroms, der der Messzelle zur Ermittlung der anströmseitigen bzw. abströmseitigen Partikelanzahl zugeleitet wird. Bei Partikelzählern, die nur einen Teilstrom des der Messzelle zugeleiteten Volumenstroms analysieren, wird dieser analysierte Anteil als Probenahmevolumenstrom bezeichnet. (Quelle: ÖNORM EN 1822-4, 1997 Wien)

Volumenstrom, der der Messzelle des Partikelzählers zur Ermittlung der anströmseitigen bzw. abströmseitigen Partikelanzahl zugeleitet wird (Quelle: Europäische Norm EN 1822-5: August 2000; erstellt von Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 5: Abscheidegradprüfung des Filterelements)

Prüfaerosol

Prüfaerosole werden in der Reinraumtechnik zur Kalibrierung von Partikelzählern und zur Prüfung der Filter eingesetzt. Da die Partikel der Größe 0,1 bis 0,3 Mikrometer in der Filtertechnik am schwierigsten abzuscheiden sind (MPPS = most penetrating particle size), erfolgt die Klassifizierung der Filter anhand ihrer Filtereffektivität gegenüber diesen Partikelgrößen mittels DEHS-Prüfaerosol (Di-2-Ethylhexyl-Sebacat)

Prüfergebnis eines Acceptancetests

bei einem Acceptancetests unterscheidet die Norm 3 verschiedene Ergebnisse:

P – Pass (bestanden – Spezifikation eingehalten)

F – Fehler (Spezifikation nicht eingehalten, aber tolerierbar)

K – Killer (Spezifikation nicht eingehalten, nicht tolerierbar)

(Quelle: VDI 2083-16.2)

Prüfluft

Die Prüfluft ist die Außenluft mit den zur Zeit des Versuches in der Beruhigungskammer vorhandenen Eigenschaften: Temperatur, Druck und Gehalt an atmosphärischem Staub, die relative Luftfeuchte in den Grenzen, wie in Abschnitt 5.2 beschrieben, Bei der Bestimmung des Abscheidegrades gegenüber synthetischem Staub darf als Prüfluft auch Raumluft benutzt werden. (Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Prüfung

“Auflösung

kleinste Änderung in einer gemessenen Größe, die zu einer wahrnehmbaren Veränderung der entsprechenden Anzeige führt

maximal zulässige Messabweichung

maximal zulässige Fehlergrenze

Extremwert der Messabweichung in Bezug auf einen bekannten Referenzgrößenwert, der durch Spezifikationen oder Vorschriften für die jeweilige Messung, das gegebene Messgerät oder Messsystem zulässig ist”

(Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Prüfverfahren (Messverfahren, Prüfmethode)

Festgelegte technische Verfahrensweise für die Durchführung einer Prüfung oder Kalibrierung auf der Grundlage eines Messprinzips. [DakkS 71 SD 0 002] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Qualitatives Prüfverfahren

Prüfverfahren, das Informationen zur Identifizierung der Bestandteile oder der Zusammensetzung von Stoffen sowie Stoffegemsichen liefert, ohne einen Aufschluss über Mengenverhältnisse zu geben. (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Rauche

Sind feste Schwebstoffe; sie entstehen überwiegend bei thermischen Prozessen. Charakteristische Beispiele hierfür sind die sog. metallurgischen Rauche. Die Partikelgrößen von Rauchen sind meist sehr klein und liegen teilweise deutlich unter 1 μm. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Reiner Arbeitsplatz

Arbeitsplatz mit erhöhtem Reinheitsgrad, der durch Zufuhr eines gefilterten turbulenzarmen Luftstromes charakterisiert wird, der einer festgelegten Reinheitsklasse entspricht.

Mehr zum Thema Reinluft-Arbeitsplatz finden Sie hier.

Reiner Bereich

Ein zugeordneter Bereich, in dem die Anzahlkonzentration luftgetragener Partikel kontrolliert wird. Anmerkung: Dieser Bereich kann offen oder eingeschlossen sein und seinerseits in einem Reinraum liegen. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Ein definierter Bereich, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel innerhalb festgelegter Grenzen überwacht wird. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988): Frauenhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart; Januar 1991)

Reiner Bereich # veraltet aus dem Jahr 1984

Ein reiner Bereich ist ein abgegrenzter Bereich mit einem Reinheitsgrad der Luft, der die höchstzulässige Teilchenzahl der Reinheitsklasse 10^5 (nach nicht mehr anwendbarem Federal Standard 209 E) nicht überschreitet.

In Abhängigkeit der Anforderungen besitzt er eine Temperatur-, Luftfeuchte-, Differenzdruck- und Luftgeschwindigkeitsregelung.

Reinheit

Zustand eines Produktes, einer Oberfläche, eines Gerätes, Gases, Fluids uws. mit einem festgelegten Grad partikulärer und/ oder nicht-partikulärer Verunreinigungen. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Reinheitsgrad # veraltet aus dem Jahr 1984

Der Reinheitsgrad der Luft ist die vorhandene Verunreinigung, gemessen in Teilchenkonzentration und/oder Anzahl der koloniebildenden Einheiten (Mikroorganismen). Die in der Luft befindlichen Mikroorganismen stellen Teilchen dar, die in der Teilchenzählung eingeschlossen sind.

Reinheitsklasse bezüglich luftgetragener Partikel

Die statisch zulässige Partikelzahl bei einer Größe von größer gleich 0,5 µm pro Kubikfuß (cft) Luft (1cft = 28,3 l) (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988): Frauenhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart; Januar 1991)

Reinheitsstufe # veraltet aus dem Jahr 1984

Durch Einteilung des Reinheitsgrades nach maximal zulässiger Anzahl der koloniebildenden Einheiten (KE/m³) und der Teilchenkonzentration sind für die Pharmazie der DDR Reinheitsstufen festgelegt.

Reinheitstauglichkeit (nach VDI 2083-9.1)

Die Reinheitstauglichkeit beurteilt Betriebsmittel oder reinlufttechnische Komponenten hinsichtlich des Einsatzes in Reinräumen. Sie beschreibt das Aufkommen oder Vorhandensein der am Betriebsmittel oder an der raumlufttechnischen Komponente bestehenden oder generierten Verunreinigungen. Die Reinheitstauglichkeit beschreibt den Einfluss eines Betriebsmittels auf das Produkt, welches im oder mit dem Betriebsmittel bearbeitet wird.

Reinheitszone # veraltet aus dem Jahr 1984

Gebäude mit Reinraumbereichen sind in die Reinheitszonen

Schwarzzone
Grauzone
Reinzone (Weißbereich)

zu gliedern.

Reinzonen erfordern vorgeschaltete Grau- und Schwarzzonen; Grauzonen erfordern vorgeschaltete Schwarzzonen. Eine weitere Untergliederung dieser Zonen ist je nach Anforderung zulässig.

Kriterium zur Beurteilung von Betriebsmitteln oder raumlufttechnische Komponenten hinsichtlich des Einsatzes in Reinräumen

Anmerkung: Die Reinheitstauglichkeit beschreibt das Aufkommen oder Vorhandensein der am Betriebsmittel oder an der raumlufttechnischen Komponente bestehenden oder generierten Verunreinigung.

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Weitere Erläuterungen zum Thema können Sie auch im Blog nachlesen.

Reinigung

Entfernung von Verschmutzungen in einem Bereich oder von einem Gegenstand in dem für die weitere Behandlung und vorgesehene Verwendung erforderlichen Umfang (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

Reinigung (einer Oberfläche)

Verminderung einer Verunreinigung, wie etwa einer biologischen, organischen/ anorganischen Verunreinigung durch ein Verfahren, das auf die zu behandelnden Oberflächen abgestimmt ist, unter Berücksichtigung der chemischen und mechanischen Wirkung sowie der Temperatur und Behandlungsdauer (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Mehr zum Thema Reinigung unter reinen Bedingungen erfahren Sie hier.

Reinraum

„Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel geregelt wird, der so konstruiert und verwendet wird, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist, und in dem andere reinheitsrelevante Parameter wie Temperatur, Feuchte und Druck nach Bedarf geregelt werden.” [ISO 14644-1:1999, 2.1.1]

Mehr zum Thema Reinraum finden Sie hier.

“Ein Reinraum, in dem die Anzahlkonzentration luftgetragener Partikel kontrolliert wird, der auf die Minimierung der Anzahl der in den eingeschleppten bzw. im Reinraum entstehenden und abgelagerten Partikel hin konstruiert und betrieben wird, und in dem diejenigen Parameter, die für den Reinstprozeß relevant sind, wie Temperatur, Feuchte und Druck nach Bedraf kontrolliert werden. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel innerhalb festgelegter Grenzen überwacht wird. (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988): Frauenhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart; Januar 1991)

Reinraumgerät

Kleines Gerät, mit individueller Zufuhr von gefilterter Luft oder Gas, das in einem anderen Reinen Bereich aufgestellt werden kann. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

"Freistehendes Gerät zur Behandlung und Verteilung von Reinluft, das dazu dient, definierte Umgebungsbedingungen zu erzielen."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Reinraum in Betrieb

Ein Reinraum in normalem Betrieb, mit allen Anschlüssen und Funktionseinheiten sowie mit Fertigungsgeräten und Personal, die im Reinraum ihre normale Arbeit verrichten. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Reinraum leer (as built)

Ein vollständiger und betriebsbereiter Reinraum, ausgestattet mit allen Anschlüssen und Funktionseinheiten (funktionsbereit), aber ohne Fertigungsgeräte und Personal. (Quelle: Federal Standard 209D, Stuttgart 1991)

Reinraumanlage

Reinraum oder ein oder mehrere reine(r) Bereich(e) zusammen mit allen zugehörigen Bauten, Luftaufbereitungssystemen, Anschlüssen und Betriebsmedien (ISO 14644-1:1999,2.1.3).

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Reinraumkabine

Eine Reinraumkabine ist ein lokaler Reinraumbereich, der örtlich veränderbar ist (Rollen, einfaches Verschieben), aus einer Rahmenkonstruktion besteht und Wandflächen aus festen Elementen (Hardwall – Glas, Kunststoff, Blech u.a.) oder Folien (Softwall – flächig und/oder in Streifen) besitzt. Die Reinstluftversorgung erfolgt über Lüfter-Filter-Module.

Reinraumklasse # veraltet

Der Begriff Reinraumklasse ist ein veralteter Begriff, der heute mit Partikelreinheitsklasse der Luft beschrieben wird. Er beschreibt die Klassifizierung von Reinraumbereichen in ISO-Klassen (siehe ISO 14644-1). Der Begriff Reinraumklasse ist schon dadurch irreführend, da man einen Reinraum nicht nach dem Raum an sich, sondern nur nach der Reinheit der Luft in diesem klassifizieren kann. Die Reinheit des Raumes wird indirekt über die Reinheit der Luft in diesem Raum beschrieben.

Reinraumtauglichkeit

Kriterium zur Beurteilung der Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind.

Anmerkung 1: Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt.

Anmerkung 2: Reinraumtauglichkeit ist Bestandteil der Reinheitstauglichkeit.

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Weiterführende Informationen können Sie im Whitepaper “Reinraumtauglichkeit als Qualitätsparameter” nachlesen.

Reinraumprotokoll

Das Reinraumprotokoll beinhaltet alle Maßnahmen während der Realisierung eines Reinraumprojekts zur Aufrechterhaltung einer definierten Reinheit in der jeweiligen Bauphase, wie Reinraumkleidung, Verhalten, Personal- und Materialeinbringung, Reinigung und reine Montage.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 4.1, Düsseldorf 2006)

Reinraumregime

Das Reinraumregime ist die vorgegebene und überwachte Ordnung und Verhaltensweise des Personals auf dem Weg zum und vom reinen Bereich, in reinen Bereich, im Umgang mit der Prozesskette.

Bestandteil des Reinraumregimes ist die Überwachung der Anforderungen an den Reinraumbereich (z.B. Reinheitsklasse, Temperatur, Luftfeuchte, Druck).

Reinraumtauglichkeit (nach VDI 2083-9.1)

Die Reinraumtauglichkeit beschreibt den Einfluss eines Betriebsmittels auf den Reinraum und beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind. Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt. Anmerkung: Reinraumtauglichkeit ist Bestandteil der Reinheitstauglichkeit.

Requalifizierung

Durchführung der Qualifizierungsaktivitäten nach festgelegten Zeitabständen oder nach wesentlichen Änderungen in den Prozessen oder Teilsystemen.

(Quelle: VDI 2083, Blatt 5.1, Düsseldorf 2007)

Mehr zur Messung und Requalifizierung finden Sie hier.

Restschmutzpartikel

Restschmutzpartikel, oder kurz Restschmutz, sind Partikelrückstände auf Komponenten im Automobil, welche deren korrekte Funktion oder die des Systems, in welche die Komponente verbaut ist, beeinträchtigen können. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm

Sauberraum

Der Begriff Sauberraum wird für räumlich abgetrennte Bereiche verwendet, die von ihrer Luftreinheit besser als die umgebenden Bereiche sind, jedoch nicht zwingend Reinraumqualität aufweisen müssen und nicht in die gängigen Partikelreinheitsklassen der Luft nach ISO 14644-1 bzw. VDI 2083-1 eingeordnet werden. Auf Grund der konsequenten Umsetzung des metrischen Maßsystems und der Ablösung des US-Federal-Standards 209E durch die ISO 14644-1 kann man ggf. den Sauberraum mit einer Partikelreinheitsklasse der Luft von ISO 9 oder ISO 8 beschreiben. Viel wichtiger als diese Klassifizierung über Partikelkonzentrationen in der Luft ist es aber, den Sauberraum für den jeweiligen Einsatzfall zu definieren und Aktionen festzulegen, die diesen als den ursprünglich gedachten Sauberraum erhalten.

Sauberraummodul

Der Aufbau des Sauberraummoduls entspricht im Wesentlichen dem des Lüfter-Filter-Moduls. Im Unterschied zu diesem wird kein HEPA- oder ULPA-Filter sondern ein hochwertiges Feinfilterelement eingesetzt. Dadurch erreicht man eine für viele Prozesse ausreichende Luftfiltration bei einem sehr hohem Volumenstrom.

Schallspektrum (Schallleistungsspektrum, Schalldruckspektrum)

Das Schallspektrum beschreibt die Pegelverteilung innerhalb des interessierenden Frequenzbereiches. Das Schallspektrum umfasst die Schallleistungspegel (oder die Schalldruckpegel z.B. am Messpunkt für den Arbeitsplatz oder am lautesten Messpunkt oder als Mittelwert über die Messfläche) in aneinander anschließenden Frequenzbändern, z.B. in Oktav-, Terz- oder Schmalbändern. (Quelle: DIN 24 635, Teil 1, Berlin 1984)

Schätzung

"Vorgang des Zuordnens von Zahlenwerten aus Stichprobenergebnissen zu Parametern einer Verteilung, die als statisches Modell für eine Grundgesamtheit gewählt wurde, aus der die Stichprobe stammt."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Schwarzzone

Geeignetes Behältnis (z.B. Petrischale) angemessener Größe mit einem geeigneten, sterilen Nährmedium, das für eine bestimmte Zeit offen stehen gelassen wird, um lebensfähige Partikel aus der Luft zu sammeln (Quelle: VDI 2083; Blatt 18, Düsseldorf 2012)

SD-Modul (en: Seperative Device)

"Abrüstungsgegenstand, der konstruktive und dynamische Mittel einsetzt, um zugesicherte Grade der Abgrenzung zwischen den Bereichen innerhalb und außerhalb eines fest umschriebenen Volumens zu erzeugen.

ANMERKUNG: Einige industriespezifische Beispiele von SD-Modulen sind Reinlufthauben, Abgrenzungsumschließungen, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Sedimentationsplatte

"geeignetes Behältnis (z.B. eine Petrischale) angemessener Größe, die mit einem geeigneten, sterilen Nährmedium, das für eine bestimmte Zeit offen stehen gelassen wird, um lebensfähige Partikel aus der Luft zu sammeln."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Servicezone (SZ)

Aufstellbereich der Hauptanteile aller EM,

zur Einrichtung, Regelung und Steuerung an EM und Versorgungseinrichtungen;
für Wartungs- und Instandsetzungsarbeiten;
für Medien-, Energie- und Entsorgungsanschlüsse

(Quelle: Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen, Richtlinie des Generaldirektors, Jena 1989)

Softwall-Kabine

Im Gegensatz zur Hardwall-Kabine ist die Softwall-Kabine ein Reinraum mit flexiblen, nicht festen Wandflächen. Die Wandflächen können z.B. aus PVC-Reinraumvorhängen und -streifenvorhängen bestehen. Die feste und modular aufgebaute Decke mit integrierten Lüfter-Filter-Modulen wird durch Stützen getragen.

Mehr zum Thema Softwallkabine finden Sie hier.

Spezifischer Volumenstrom

Volumenstrom in m³/m² *h , der erforderlich ist, um eine Druckdifferenz am filternden Material von 100 N/m²und von 200 N/m² zu erreichen. Die Prüfung wird in Anlehnung an DIN 53129 Teil 2 durchgeführt. (Quelle: DIN 24 184, Ersatz für Ausgabe 10.74, Berlin 1990)

Sit- Over-Bank

auch Übersteigbank, Schleusenbank. Ausstattung von Personenschleusen; dient dem Wechsel der Kleidung und zur Abgrenzung von Bereichen mit unterschiedlicher Kleiderordnung. Des Weiteren stellt die Bank eine Barriere für die Bodenkontamination dar.

Standard-Leckpenetration

"Leckpenetration, wie sie mittels eines Einzelpartikelzählers oder Aerosolphotometers mit genormten Probenahmefluss aufgenommen wird, während die Sonde über die Leckstelle gehalten wird.

ANMERKUNG: Die Penetration ist der Quotient der Partikelanzahlkonzentration reinluftseitig und rohluftseitig vom Filter."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Standzeit

S ist die Zeit, meistens in Betriebsstunden, von der Inbetriebnahme eines Filters bis zu seiner „Erschöpfung“ (d.h. bis zum Auftreten von Staubdurchbrüchen oder bis zur Erreichung eines bestimmten oberen Grenzwertes Δ _P_s vom Druckabfall oder auch bis zur völligen Verstopfung). Zur Ermittlung der Standzeit aus V_S kann die folgende Beziehung benutzt werden, wobei die Problematik der Übertragbarkeit von Prüfstandsmessungen auf die Bedingungen der Praxis unberücksichtigt bleibt:

S= Vs / (3,6 v_L c_1 ε )

S	V_S	v_L	c₁
h	g/m²	m/s	mg/m³	–

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Statische Aufladung

Triboelektrische Aufladung

Elektrische Aufladung, die durch Reibung oder durch Trennung von zwei Oberflächen erzeugt wird (siehe EN 61340-5-1 und EN 61340-5-2).

Induktionsaufladung

Durch bewegte stromdurchflossene Leiter in einem statischen Magnetfeld oder durch eine zeitliche Veränderung eines Magnetfeldes (B-Feld) bei einem zeitlich und räumlich konstanten Stromfluss findet Induktion statt, die zur Ausbildung von Oberflächenpotenzialen führen kann.

Elektrostatische Ableitung

Schnelle, spontane Übertragung von elektrostatischen Ladungen, induziert durch ein elektrostatisches Feld (SEMI E78-998).

(Quelle: VDI 2083 Blatt 9.1, Dezember 2006)

Staub

Mit Staub bezeichnet man ein Kollektiv von festen Partikeln, die in einem Gas verteilt sind. Stäube unterteilt man nach ihrer Herkunft und Entstehung in natürliche und technische Stäube. (Quelle: VDI 2262, Blatt 1, Düsseldorf 1993)

Staubklasse #veraltet

veralteter Begriff aus der Reinraumtechnik, Der Begriff Staubklasse ist ein veralterter Begriff, der heute mit Partikelreinheitsklasse der Luft beschrieben wird. Er beschreibt die Klassifizierung von Reinraumbereichen in ISO-Klassen.

Staubspeicherfähigkeit (statische Staubspeicherfähigkeit)

Die Staubspeicherfähigkeit ist das Produkt aus der Masse des auf Wegwerfluftfiltern oder Luftfiltern ohne selbsttätige Erneuerung des Filtermediums aufgegebenen synthetischen Staub bis zum Eintreten einer begrenzten Bedingung.

Sie wird in g angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Staubspeicherfähigkeit je Flächeneinheit (dynamische Staubspeicherfähigkeit)

Die Staubspeicherfähigkeit je Flächeneinheit ist das Produkt aus der Masse des synthetischen Staubes, die je Flächeneinheit auf das Filtermedium von Luftfiltern mit selbsttätiger Erneuerung des Filtermediums je Flächeneinheit aufgenommen werden kann und dem mittleren Abscheidegrad des Prüflings gegenüber synthetischem Staub, wenn der Prüfling im Gleichgewichtszustand arbeitet.

Sie wird in g/m² angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Staubspeichervolumen

V_Sist die Menge des innerhalb der Standzeit eingelagerten Staubes, bei Querschnittsfiltern meistens in cm³/m² Filterfläche angegeben, aber auch als Staubspeichermasse in g/m² üblich.

(Quelle: Reine Luft- und Kältetechnik, VEB Verlag Technik, Berlin, 1979)

Student's t-Verteilung

Die Verteilung:

t= (Partikelmenge Mittelwert – Probenmittelwert) / Standardfehler

aus einer Probenahme mit Gauss’scher (“Normal”-) Verteilung (die Tabellen können entsprechenden Texten zur Statistik entnommen werden). (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988); Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart, Januar 1991)

Stündliche Leckrate R_h

"Verhältnis zwischen der stündlichen Leckage q der geschlossenen Kabine unter normalen Arbeitsbedingungen (Druck und Temperatur) und dem Volumen V der genannten geschlossenen Kabine

ANMERKUNG: Wird als Kehrwert der Stundenzahl (h-1) angegeben"

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Surface Chemical Contamination

Auf der Oberfläche eines Werkstoffs vorhandene molekulare Ablagerungen, die sich schädlich auf den Menschen, das Produkt, den Prozess, die Umwelt oder das Equipment auswirken können (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Technische Sauberkeit

Die Technische Sauberkeit bewertet Restschmutzpartikel auf Komponenten und Systemen im Automobil. Bauteile frei von den spezifisch kritischen Partikeln gelten als technisch sauber. (Quelle: Allgemeine Informationen zur Technischen Sauberkeit, Sauberkeitsanalyse nach VDA 19/ISO 16232 oder Werksnorm)

THC (Total Hydrocarbon Content, Kohlenwasserstoff-Index; KW-Index; MKW-Index)

Summe der Konzentration der mit einem Kohlenwasserstofflösemittel (Siedepunkt zwischen 36°C und 69°C) extrahierbaren Stoffe, die an Florisil nicht adsorbieren und die mit Retentionszeiten zwischen denen von n-Decan (C10H24) und n-Tetraoctan (C40H82) chromatografisch bestimmt werden können [DIN EN ISO 9377] (Quelle: VDO 2083, Blatt 21 Entwurf, Düsseldorf 2018)

Transfervorrichtung

Mechanismus, der die Bewegung von Material in das SD-Modul hinein oder aus diesem heraus ermöglicht und dabei gleichzeitig das Eindringen bzw. die Freisetzung von unerwünschtem Material auf ein Mindestmaß verringert."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Transportsysteme, Reinraum

Transportsysteme werden zur Verkettung mehrerer Fertigungsanlagen oder Fertigungszellen eingesetzt. Als flexibelste Systeme sind mobile Industrieroboter zu nennen. Alternativ stellen die weniger flexiblen Reinraumtransportsysteme in Form von Magnetschwebebahnen, Elektrohängebahnen, oder Tunneltransportsysteme eine Möglichkeit zur Automatisierung des Materialflusses dar. [Jürgen Geißinger, Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme, Springer-Verlag 1989]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Tray

eng.: Servierbrett, Präsentiertablett, ein Werkstückbehälter in Standard- oder Sonderformat für die Bereitstellung von Teilen in der Fertigung und für den Transport von Teilen. Die Werkstücke befinden sich in Formnestern auf eigenen Speicherplätzen. Typisch sind tiefgezogene Ausführungen aus Kunststoff. [Dr.-Ing. habil. Stefan Hesse, Lexikon Handhabungseinrichtungen und Industrierobotik, Expert Verlag 1994]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Turbulente Verdünnungsströmung

“unidirektionaler Luftstrom

geregelte Luftströmung mit gleichförmiger Geschwindigkeit über den gesamten Querschnitt eines Reinraums oder reinen Bereichs, die als parallele Luftströmung angesehen wird.” (Quelle: DIN EN ISO 14644-1:2016-06)

Die Luft strömt in einer Richtung durch den Reinraum oder den reinen Bereich mit in der Regel paralleln Strömungslinien (Quelle: Federal Standard 209D; Reinraum und Arbeitsbereich Anforderungen, Umgebungsüberwachung (Vom 15. Juni 1988): Frauenhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA); Bearbeiter: Dipl.-Ing. Thomas von Kahlden; Übersetzer: Angelika Rieß, Susanne Weiß; Stuttgart; Januar 1991)

"Luftverteilung, bei der in den Reinen Bereich eintretende Erstluft mit der Innenraumluft durch Induktion vermischt wird."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

Turbulenzarme Verdrängungsströmung

“geregelte Luftströmung mit gleichförmiger Geschwindigkeit und nahezu parallelen Strömungslinien über den gesamten Querschnitt eines Reinen Bereichs.

ANMERKUNG 1: Eine solche Strömung bewirkt einen gerichteten Transport von Partikeln aus dem Reinen Bereich.

ANMERKUNG 2: Eine angepasste Fassung dieses Begriffs erscheint in ISO 14644-3 und ISO und ISO 14644-4."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Turbulenzarme Verdrängungsströmung # veraltet aus dem Jahr 1984

Übereinen gesamten Querschnitt des reinen Bereiches fließt ein gleichgerichteter Luftstrom mit möglichst gleichförmiger Geschwindigkeit und fast parallelen Stromlinien.

Überwachung

"Messtechnische Beobachtung nach einem definierten Verfahren und Plan zum Nachweis der Leistung einer Anlange.

ANMERKUNG: Diese Informationen dürfen zur Ermittlung von Trends unter Betriebsbedingungen und zur Prozessführung herangezogen werden."

(Quelle EN ISO 14644-6:2007)

U-Deskriptor

"gemessene oder festgelegte Konzentration von Partikeln je Kubikmeter Luft, einschließlich der ultrafeinen Partikel.

ANMERKUNG: Der U-Deskriptor kann als Obergrenze für den Durchschnitt der Probenahmeorte betrachtet werden (oder als eine obere Vertrauensgrenze in Abhängigkeit von der Anzahl der verwendeten Probenahmeorte, die den Reinraum oder den Reinen Bereich beschreiben). U-Deskriptoren eignen sich nicht, um Partikelreinheitsklassen der Luft zu definierten, aber sie können unabhängig oder in Verbindung mit einer Partikelreinheitsklasse der Luft zitiert werden."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

ULPA-Filter

Das Ultra Low Penetration Air-Filter ist ein Schwebstofffilter mit einem minimalen Abscheidegrad von ≥ 99,9995% nach EN 1822. Es ist somit effizienter als ein HEPA-Filter.

Abscheidegrad U15 ≥ 99,9995%
Abscheidegrad U16 ≥ 99,99995%
Abscheidegrad U17 ≥ 99,999995%

Umkleideraum

Raum, in dem das in einem Reinraum arbeitende Personal seine Reinraumkleidung anlegen bzw. ablegen kann. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Unreiner Bereich

Unreiner Bereich ist der, in dem mit medizinischem Untersuchungsgut oder vermehrungsfähigen Mikroorganismen gearbeitet wird (z.B. Labortische, Stallungen mit infizierten Tieren.) (Quelle: DIN 58 965, Teil 1, Berlin 1990)

Untere Betriebsdruckdifferenz

Die untere Betriebsdruckdifferenz ist die Druckdifferenz, bei der die Erneuerung des Filtermediums bei Luftfiltern mit selbsttätig bewegbarem Filtermedium, die über den Druck gesteuert werden, abgestellt werden.

Sie wird in Pa angegeben.

(Quelle: DIN 24 185, Teil 1, Berlin 1980)

Unterwiesene Person

Als unterwiesene Person gilt, wer über die ihr übertragenen Aufgaben und die möglichen Gefahren bei unsachgemäßem Verhalten unterrichtet und erforderlichenfalls angelernt sowie über die notwendigen Schutzeinrichtungen und Schutzmaßnahmen belehrt wurde. (Quelle: DIN 58 965, Teil 1, Berlin 1990)

Validierung

“Dokumentierte Bestätigung, dass die Anforderungen einer spezifizierten Anwendung erfüllt werden. [VDI 2083 Blatt 5.1]”

(Quelle: VDI 2083; Blatt 3.1 “Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft Monitoring; 2012)

"Bestätigung durch Bereitstellung eines objektiven Nachweises, dass die Anforderungen für einen spezifischen beabsichtigten Gebrauch oder eine spezifische beabsichtigte Anwendung erfüllt worden sind."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Verfärbungs-Wirkungsgrad (E)

Maß für die Wirksamkeit des Filters, den atmosphärischen Staub aus der Testluft abzuschneiden.

Das Verfahren, diese Größe uzu bestimmen, basiert auf dem Vergleich der Lichtdurchlässigkeit von Filterpapier in vor und nach dem Prüfling angeordneten Meßsonden.

Anfangs-Verfärbungsgrad (E1): Erster Wert, der im Laufe eines Tests für den reinen, neuen Filter erhalten wird.

mittlerer Verfärbungswirkungsgrad: gemittelter Wert der Wirkungsgrade, die bei Staubbeladung des Filters im Laufe der Prüfung festgestellt wurden.

(Quelle: ÖNORM M7605; Wien / 1.April 1987; Lüftungstechnische Anlagen; Luftfilter)

Vergleichsverfahren

Das Verfahren, bei dem der Schallleistungspegel durch Vergleich der Schalldruckpegel einer Quelle im Hallraum mit den Schalldruckpegeln, die eine Vergleichsschallquelle bekannter Schallleistung im gleichen Raum erzeugt, berechnet wird. (Quelle: DIN EN 23741, Berlin 1991)

Vergleichsplatte

"kontaminationsempfindliches Material mit festgelegter Oberfläche, das anstelle direkter Auswertung einer bestimmten Oberfläche verwendet wird. die entweder unzugänglich oder zu empfindlich für die Handhabung ist."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Verschleiß

Fortschreitender Materialverlust aus der Oberfläche eines festen Körpers (Grundkörper), hervorgerufen durch mechanische Ursachen, das heißt Kontakt- und Relativbewegung eines Gegenkörpers (Quelle: VDI 2083; Blatt 17, Düsseldorf 2013)

Vertikalströmung

Die Luft strömt senkrecht und turbulenzarm, die Partikel werden mit einer gleichmäßigen Luftströmung von oben nach unten abgeführt. So werden einzelne Arbeitsbereiche gut voneinander isoliert und beeinflussen sich weniger.

Verunreinigung

Vorhandensein fester, flüssiger und gasförmiger Teilchen und auch Mikroorganismen, die die Ursache von Fehlstellen im Technologischen darstellen.

“Verunreinigung: jedwede partikelförmige, molekulare, physikalsiche oder biologische Einheit, die sich auf das Produkt oder den Prozess nachteilig auswirken kann [DIN EN ISO 14644-4, 3.5]

physikalische Verunreinigung: Beeinflussung des Prozesses des Produkts, des Personals oder der Einrichtungen durch physikalische Faktoren wie Feuchte, Temperatur, Schwingungen, elektrostatische und elektromagnetische Felder

partikuläre Verunreinigung: Teilchen, die den Prozess, das Personal oder die Einrichtungen beeinflussen können

Anmerkung 1: Partikel gelangen hauptsächlich durch Ablagerungseffekte auf Oberflächen. Diese Ablagerungsvorgänge werden vor allem durch physikalische Vorgänge wie Gravitation, Elektrostatik, Diffusion, Thermophorese oder einer Kombination aus diesen verursacht.

Anmerkung 2: Partikuläre Verunreinigungen können durch relative, chemische Vorgänge wie Korrosion oder durch Abrieb an einer Oberfläche entstehen. “

(Quelle: VDI 2083: Blatt 9.1: 2021-01 Düsseldorf)

Virtueller Abscheider

"Gerät zur Trennung der Partikelgrößen durch Zusammenstoss mit der hypothetischen (virtuellen) Oberfläche durch die Schwerkraft.

ANMERKUNG: Große Partikel durchtreten die Fläche in ein stagnierendes Volumen und kleine Partikel werden mit der Masse des ursprünglichen Luftstroms abgelenkt."

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Vorfilter

Luftfilter, der vor einem anderen Filter eingebaut wird, um dessen Beladung zu verringern. (Quelle: Europäische Vornorm ÖNORM ENV 1631:1996 Wien /Vornorm 1. Februar 1997; Reinraumtechnik; Planung, Ausführung und Betrieb von Reinräumen und Reinraumgeräten von ON; Wien)

Als Vorfilter werden Filterelemente bezeichnet, die eine weitere Filterstufe in lufttechnischen Anlagen vorgeschalten sind. Meist geschieht dies, um Schwebstofffilter (HEPA- oder ULPA-Filter) vor einer zu hohen Partikelbelastung zu schützen und damit Kosten zu senken. Je nach Aufbau können mit Vorfilterelementen Partikel oder auch molekulare oder atomare Kontaminationen aus der Luft gefiltert werden.

Wafer box carrier

Handhabungsgerät in der Halbleiterfertigung zum Aufnehmen und Halten von Wafern für verschiedene Bearbeitungsschritte. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Wafer-Greifer

eng.: “Wafer”, Siliziumscheibe,

ein spezieller Greifer, der einen oder mehrere Wafer anfassen, halten und bewegen kann. Bei der Gestaltung des Wafer-Greifers ist entscheidend, dass die Greiferbacken keinen großen Anpressdruck ausüben, beim Greifvorgang keine Gleitbewegung zwischen der Greifbacke und der Scheibe entsteht und dass die Siliziumscheibe senkrecht und waagerecht gehandhabt werden kann. [Dr.-Ing. habil. Stefan Hesse, Lexikon Handhabungseinrichtungen und Industrierobotik, Expert Verlag 1994]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Wafer package

Die Verbindung von einer Wafer box und einer Box wrap. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Wafer plane

Die Position des Wafers in einem Behälter. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Wafer transfer

Der Vorgang des Transports eines Wafers von einem Behälter in einen anderen. Dies kann durch verschiedene Vorgehensweisen geschehen. [DIN EN 20780, Bildzeichen für die Handhabung von Gütern, Deutsche Norm, Juli 1993]

(Quelle: Begriffslexikon der Handhabungstechnik, Frauenhofer IPA, Institutszentrum Stuttgart, Juni 1997)

Zählwirkungsgrad

Eine Reine Werkbank ist ein Arbeitstisch mit einer Reinstluftversorgung (siehe Lüfter-Filter-Modul), welche die Arbeitsfläche mit einem vertikalen oder horizontalen Reinstluftstrom versorgt.

"Quotient aus der gemessenen Konzentration von Partikeln innerhalb eines gegebenen Größenbereichs und der tatsächlichen Konzentration solcher Partikel"

(Quelle: EN ISO 14644-6:2007)

Zählrate

Partikelzählereignisse pro Zeiteinheit

(Quelle: Europäische Norm prEN 1822-1: November 1997; Schluss-Entwurf; Schwebstofffilter (HEPA und ULPA) – Teil 1: Klassifikation, Leistungsprüfung, Kennzeichnung; Technisches Komitee CEN/TC 195; Brüssel)

Zonen im SK-Herstellungsprozess bei RK # veraltet aus dem Jahr 1989

Servicezone (SZ): Aufstellbereich der Hauptanteile aller EM

– zur Einrichtung, Regelung und Steuerung an EM und Versorgungseinrichtungen;

– für Wartungs- und Instandsetzungsarbeiten;

– für Medien-, Energie- und Entsorgungsanschlüssen

Gangzone (GZ): Arbeitsbereich des RR-Personals mit der höchsten Reinheit für operative Steuerungen der EM, Wartung und Kleinreparaturen
Arbeitszone: Aufstellbereich der E-Funktionseinheiten für die Ein- und Ausgabe Si-Scheiben bzw. Schablonen, Umladen, Transport, Kontrolle (offene Handling der Scheiben/ Schablonen)
Roboterzone: Arbeitsbereich des RR-Roboters, keine Belegung durch EM und andere Baugruppen
Fügeeinheiten: Montagegruppen aller Fertigstellgrade
Fügeprozess: Montagearbeiten wie Stecken, Schrauben, Verstiften, Gängeln, Schleifen, Polieren, Schaben, Gewindeabschneiden, Abstimmen, Fassen, Graten, Börteln, Löten, Schweißen, Justieren, Prüfen, Messen u.a.
Grobreinigung: Reinigung aller Materialien für den Montageprozess des EMB
Vorreinigung: Reinigung aller Montagematerialien zur Verarbeitung … unter RKL 100 000
Feinreinigung: … unter 10 000
Feinstreinigung: … unter 1000

Quelle: “Reinräume zur Montage von Elektronikmaschinen” Blatt 10, 01.02.89, Richtlinie des Generaldirektors, Kombinat VEB Carl Zeiss Jena

Zuluft/ Erstluft

Zuluft ist aus den Schwebstofffiltern oder Luftauslässen in den reinen Bereich kontrolliert einströmende, gefilterte Luft vor Aufnahme von Verunreinigungen. (Quelle: DIN, Besondere Anforderungen an das Fertigungsumfeld Reinraumtechnik, Blatt 1)

Das Reinraum Wiki: Begriffe und Definitionen

Abgrenzungsdeskriptor [Aa:Bb]

Abklingmessung

Ableitfähigkeit von Oberflächen

Ableitwiderstand

Abluft

Abnahmemessungen

Abscheidegrad (Trenngrad, separation efficiency)

Abscheidegrad, mittlerer

Abscheidegradminimum

Abschottung # veraltet aus dem Jahr 1984

Absorption

Abstrichtupfer

ACC - Luftreinheit anhand der chemischen Konzentration

ACC-Filter

Acceptance (Abnahme)

Adaptiertes Mini-Environment

Additive Fahrweise # veraltet aus dem Jahr 1984

Adsorption

Aerosolbeaufschlagung

Aerosolgenerator

Aerosolphotometer

Aktionsgrenze

Aktive Oberfläche

Aktives Mini-Environment

Aktivität

Akzeptanzkriterium

Alarmgrenze

Alkalität

Alternatives Prüfverfahren

Analysegerät für die Differentialbeweglichkeit DMA (en: Differential Mobility Analyszer)

Anlage

APC

APOS

AMC (Airborne Molecualr Contamination - luftgetragene molekulare Kontamination) - veraltet - siehe ACC

AMC-Filter - veraltet - siehe ACC-Filter

Aminofilter

Analysenmethode zur Bestimmung der Partikelfraktion und -größenverteilung

Anfangsdruckdifferenz

Anfangsdruckdifferenz bei Nennvolumenstrom

Anisokinetische Probenahme

Anlage

Anströmfläche

Anströmgeschwindigkeit

Antistatische Eigenschaften

Antistatisches Material

Anzahlkonzentration

Anwender

Arbeitsplatz

Arbeitszone (AZ)

Aseptic core

Ätzende Kontaminante

Aufprallabscheider

Aufsalzung

Aufschlagabscheider

Außenbereich

Außenluft

Ausführung

Ausgasen, Ausgasung

Ausrüstung

Aseptisch

Barriere

Barriereklassen

Base

Basekapazität (KB)

Beanspruchungskollektiv

Bediener

Berstdruck

Bereitstellung

Betriebliches System

Betriebsmittel

Betriebszustand

Betriebszustand Bereitstsellung

Betriebszustand Leerlauf

Betriebszustand Fertigung Betrieb

Bezugsdifferenzdruck

Bezugsnormal

Bezugsquader

Bezugsteilchengröße

Bioaerosol

Abgrenzungsdeskriptor [A_a:B_b]