Obgleich vielfach als Nebenprozess deklariert, nehmen Lagerung und Transport der Materialien und Produkte im Produktionsablauf einen wichtigen Stellenwert ein. Becahtet werden muss, dass sie bei längerer Lagerung auch innerhalb eines Reinraumes schädliche Partikel an den Oberflächen absetzen können oder empfindliche Materialien durch Feuchtigkeit und Sauerstoff in der Luft Schaden nehmen können. Auch bei Transporten durch Räume mit geringerer Reinheitsklasse als der Produktionsprozess vorschreibt, ist der Schutz vor Kontamination der Produkte erforderlich.
Für all diese Zwecke wurden folgende Transport- und Lagersysteme entwickelt:
Reinstluftgespülte Transportwagen dienen dem innerbetrieblichen Transport und der Lagerung von Materialien und Bauteilen unter Reinraumbedingungen.
Mit Reinstluft-Lagerschränken und -boxenkönne empfindliche Materialien, Bauteile oder Produkte unter Reinraumbedingungen gelagert werden.