Reinraum-Blog zu partikelfreien Gegebenheiten

Materialien für den Reinraum in der Halbleiterbranche

Geschrieben von Rüdiger Eberhardt | 14.6.2016

Gerade in der Halbleiterindustrie ist man auf eine reine Produktionsumgebung angewiesen. Dies betriff nicht nur die partikuläre sondern auch molekulare Kontaminationen. Den im Reinraum eingesetzten Maschinen und verwendeten Materialien kommen für die Einhaltung der jeweiligen Reinheitsklassen und somit der Produktqualität eine entscheidende Bedeutung zu. Unabhängig von der Branche gilt ganz allgemein: Im Reinraum verwendete Materialien sollten glatt und leicht zu reinigen sein. Darüber hinaus sollten sie lösungsmittelstabil und ausgasungsarm sein. Natürlich sollten sie auch den konstruktiven Erfordernissen wie z.B. Festigkeit, Funktionalität u.ä. genügen. In der Praxis finden Edelstahl, eloxiertes Aluminium und Glas eine breite Anwendung.

Die folgende Übersicht zeigt beispielhaft Materialien, welche in technischen Industrien (z.B. Halbleitertechnik) weit verbreitet sind.

 

Die folgende Grafik verdeutlicht, wie unterschiedlich die Anforderungen in verschiedenen Branchen sind. Konkret sind hier Materialien, die in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen, verglichen mit Materialien, die in der Pharmazie zum Einsatz kommen. 



Manchmal ist es konstruktiv erforderlich Materialien zu verwenden, welche nicht den o.g. Anforderungen entsprechen. Hier sind geeignete Maßnahmen zu ergreifen, um den Prozess bzw. das Produkt nicht zu gefährden. Absaugungen, entsprechende Luftführungen oder Abkapselung können solche Maßnahmen sein.

Bei einem Drucker kann dies z.B. mittels Druckereinhausung im Reinraum sichergestellt werden.

Fazit:

Aufgrund der verschiedenen Anforderungen und Prozesse in den Branchen und Unternehmen gibt es kein allgemeingültiges Verfahren zur Beurteilung geeigneter Materialien im Reinraum. Auch nicht in der Halbleiterbranche. 

Sie sind sich nicht sicher, welche Materialien für Sie am besten geeignet sind? Also Ihrem Zweck dienen und dabei am kostengünstigsten sind? Nehmen Sie gerne Kontakt zu uns auf - wir analysieren Ihre Gegebenheiten und beraten Sie gerne für Ihre optimale, individuelle Lösung.